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Instrucciones de uso

Agilent TPS-compact User Manual

101

Instalación de la brida ISO-K

Para las conexiones de brida ISO-K, sujete las dos bridas con el modelo de pinzas
IC63250DCMZ o equivalente, como se muestra en la figura siguiente (se puede
utilizar una pantalla de protección opcionalmente).

Figura

18

Utilice el número de pinzas de garra requerido:



4 para brida ISO 63



4 para brida ISO 100



4 para brida ISO 160

Ajustar los tornillos con un par de 22 Nm.

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Summary of Contents for TPS-compact

Page 1: ...Agilent TPS compact User Manual ...

Page 2: ...ny information contained herein Should Agilent and the user have a separate written agreement with warranty terms covering the material in this document that conflict with these terms the warranty terms in the separate agreement shall control Technology Licenses The hardware and or software described in this document are furnished under a license and may be used or copied only in accordance with t...

Page 3: ...rio 19 Attrezzatura di protezione 20 Linee guida di sicurezza per pompe turbomolecolari 21 Trasporto Immagazzinamento 22 Descrizione del prodotto 23 Installazione 24 Preparazione per l installazione 24 Set up 25 Fissaggio del TPS compact 26 Collegamento della flangia per alto vuoto 28 Installazione della flangia ISO K 29 Installazione della flangia ConFlat 30 Avvio e funzionamento del TPS compact ...

Page 4: ...cht Warnung und Hinweis 39 Warnsymbole 40 Sicherheit 42 Sachgemäße Verwendung 42 Unsachgemäße Anwendung 43 Schutzausrüstung 44 Sicherheitsrichtlinie für Turbomolekularpumpen 45 Transport und Lagerung 46 Produktbeschreibung 47 Installation 48 Vorbereitung zum Einbau 48 Einrichten 49 Montage von TPS compact 50 Anschluss des Hochvakuumflansches 52 Installation des ISO K Flansches 53 Installation des ...

Page 5: ...Signification des messages d attention d avertissement et des notes 63 Symboles d avertissement 64 Sécurité 66 Utilisation appropriée 66 Utilisation inappropriée 67 Équipements de protection individuelle 68 Consignes de sécurité pour les pompes turbomoléculaires 69 Transport et entreposage 70 Description du produit 71 Installation 72 Préparation pour l installation 72 Configuration 73 Montage du T...

Page 6: ...vie du rotor 82 Nettoyage 82 Élimination 83 Service 84 4 Instrucciones de uso 85 Acerca del manual 86 Validez 86 Definiciones y terminología 87 Definición de Precaución Advertencia y Nota 87 Símbolos de advertencia 88 Seguridad 90 Uso correcto 90 Uso incorrecto 91 Equipo de protección 92 Pautas de seguridad para bombas turbomoleculares 93 Transporte y almacenamiento 94 Descripción del producto 95 ...

Page 7: ...O K 101 Instalación de la brida ConFlat 102 Puesta en marcha y funcionamiento de TPS compact 103 Arranque suave 104 Parada del TPS compact 105 Parada de emergencia 105 Mantenimiento 106 Vida del rotor 106 Limpieza 106 Eliminación 107 Servicio 108 5 使用说明 109 关于本手册 110 有效性 110 定义与术语 111 小心警告和注意的定义 111 警告符号 112 安全 114 正确使用 114 使用不当 115 防护设备 116 涡轮分子泵安全指南 117 ...

Page 8: ...al 运输及存储 118 产品描述 119 安装 120 安装准备 120 设置 121 TPS compact 的安装 122 高真空法兰的连接 124 ISO K 法兰的安装 125 ConFlat 法兰的安装 126 TPS compact 的启动和运行 127 慢启动 128 停止 TPS compact 129 紧急停止 129 维护 130 转子寿命 130 清洁 130 处置 131 服务 132 6 取扱説明書 133 この説明書について 134 有効期 134 ...

Page 9: ... 不適切な使用 139 保護用装備 140 ターボ分子ポンプ用安全ガイドライン 141 輸送と保管 142 製品説明 143 取り付け 144 取り付けの準備 144 セットアップ 145 TPS compact 実装 146 高真空フランジの接続 148 ISO K フランジの取り付け 149 ConFlat フランジの取り付け 150 TPS compact コンパクトの起動と操作 151 ソフトスタート 152 TPS compact コンパクトを停止する 153 非常停止 153 メンテナンス 154 ローターの寿命 154 クリーニング 154 処分 155 サービス 156 ...

Page 10: ...otective equipment 164 Safety guideline for Turbomolecular Pumps 165 Transport Storage 166 Product description 167 Installation 168 Preparation for installation 168 Set up 169 TPS compact Mounting 170 Connection of the High Vacuum Flange 172 Installation of ISO K Flange 173 Installation of ConFlat Flange 174 Startup and Operation of the TPS compact 175 Soft Start 176 Stopping the TPS compact 177 E...

Page 11: ...Technical specification 187 TPS compact Outline 189 Inlet screen installation 192 High Vacuum Flange Connection Configurations 195 ASDF Adaptive Scroll Driving Firmware 196 Gas Ballast 198 Interconnections 200 Input Power Connector 200 P3 Vent 200 Gauge Connector 201 Pressure Display Module 202 J5 In Out 203 Signal Description 204 How to Connect the Open Collector Input of the Controller 209 How t...

Page 12: ...iptions 216 Window Protocol 217 Description 217 Communication Format 217 Communication Protocol 217 Examples 220 Window Meanings 223 Service Options 226 Tip Seal Replacement 227 To Remove the Worn Tip Seals 228 To Install the new Seals and O Rings 229 To test the Pumping System 230 Troubleshooting Chart 231 Accessories and Spare Parts 232 ...

Page 13: ...guida di sicurezza per pompe turbomolecolari 21 Trasporto Immagazzinamento 22 Descrizione del prodotto 23 Installazione 24 Preparazione per l installazione 24 Set up 25 Fissaggio del TPS compact 26 Collegamento della flangia per alto vuoto 28 Installazione della flangia ISO K 29 Installazione della flangia ConFlat 30 Avvio e funzionamento del TPS compact 31 Soft Start 32 Arresto del TPS compact 33...

Page 14: ...o più elevato di manutenzione personale appositamente addestrato per le operazioni di manutenzione non devono essere eseguite dall utente Per una corretta installazione e avvio arresto consultare il paragrafo Installazione Per un uso tecnico più dettagliato consultare il capitolo Technical Information NOTA 1 Questo manuale contiene informazioni utili affinché tutto il personale che utilizza il TPS...

Page 15: ...TTENZIONE I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che se non osservate potrebbero causare danni all apparecchiatura AVVERTENZA I messaggi di avvertenza attirano l attenzione dell operatore su una procedura o una pratica specifica che se non eseguita in modo corretto potrebbe provocare gravi lesioni personali NOTA Le note contengono informazioni importanti e forniscono maggior...

Page 16: ...imbolo triangolare indica un avvertenza I significati dei simboli che possono apparire accanto alle avvertenze nella documentazione o sullo strumento stesso sono i seguenti Messa a terra protettiva Non toccare Dichiarazione Europea di Conformità Pericolo generico Presenza di tensioni pericolose Presenza di superfici surriscaldate Sito di produzione Spegnimento Accensione Certificazione Restrizioni...

Page 17: ...ato questo simbolo consultare il relativo manuale operativo o di manutenzione per la procedura corretta a cui fa riferimento tale etichetta di avvertenza I seguenti simboli appaiono sullo strumento per vostra informazione Pericolo generico Certificazione CE Certificazione CSA Certificazione RoHS China Rifiuti di Apparecchiature Elettriche ed Elettroniche Marcatura UK CA ...

Page 18: ... sicurezza Il prodotto descritto in questo manuale è destinato esclusivamente all ambito specificato nelle istruzioni Il manuale fornisce inoltre indicazioni relative ai requisiti essenziali per l applicazione e il funzionamento del prodotto nonché le misure di sicurezza che possono essere adottate per garantire un funzionamento regolare Agilent Technologies non fornisce alcuna garanzia né si assu...

Page 19: ...ti pompaggio di liquidi pompaggio di polvere funzionamento con un eccessivo flusso di gas funzionamento con pressioni improprie per l alto vuoto funzionamento con modalità gas selezionata diversa dal gas effettivamente utilizzato funzionamento con elevati livelli di apporto termico funzionamento in elevati campi magnetici impropri procedura di vent con flussi elevati utilizzo della pompa da vuoto ...

Page 20: ...lose durante la manutenzione o l installazione A seconda della peculiarità del processo le pompe per vuoto i componenti o i fluidi di funzionamento possono essere contaminati da sostanze tossiche reattive o radioattive Indossare attrezzatura di protezione adeguata durante la manutenzione e le riparazioni o in caso di reinstallazione AVVERTENZA Rischio di lesioni dovute alla caduta di oggetti Duran...

Page 21: ...o di una parte meccanica della pompa l energia di rotazione può essere rilasciata a qualunque cosa sulla quale la pompa sia fissata vedere sezione Installazione della flangia ConFlat e ISO K AVVERTENZA Per evitare danni alle apparecchiature e per prevenire lesioni al personale operativo è necessario seguire scrupolosamente le istruzioni di installazione fornite nel presente manuale AVVERTENZA Quan...

Page 22: ... singoli componenti del TPS le pompe turbomolecolari devono essere sempre avviate in modalità Soft Start quando vengono ricevute e utilizzate per la prima volta dal cliente le pompe turbomolecolari devono essere sempre avviate in modalità Soft Start dopo un periodo di inattività della pompa di 60 giorni ATTENZIONE Se per qualsiasi motivo viene superato il periodo di immagazzinamento la pompa deve ...

Page 23: ...a è capace di pompare qualsiasi tipo di gas o di composto gassoso ma non è adatto per il pompaggio di liquidi o di particelle solide L azione di pompaggio si ottiene attraverso una turbina ad alta velocità max 70000 rpm azionata da un motore elettrico ad alte prestazioni È privo di agenti contaminanti e quindi è adatto per applicazioni che richiedono un vuoto pulito Il TPS compact ha inoltre dei c...

Page 24: ...nto per un lungo periodo di tempo o in caso di spedizione Non gettare i materiali di imballaggio in modo non autorizzato Il materiale è riciclabile al 100 ed è conforme alla Direttiva CEE 94 62 e successive modifiche ATTENZIONE Per evitare problemi di degasamento non usare le mani nude per maneggiare i componenti che saranno esposti al vuoto Usare sempre guanti o altre protezioni appropriate Figur...

Page 25: ...ici pioggia ghiaccio neve polvere gas aggressivi o in ambienti esplosivi o ad alto rischio di incendio Durante il funzionamento è necessario rispettare le seguenti condizioni ambientali per evitare la condensa pressione massima 2 bar oltre la pressione atmosferica temperatura fare riferimento ai manuali dei singoli componenti del TPS compact umidità relativa fare riferimento ai manuali dei singoli...

Page 26: ...angia di ingresso ConFlat e ISO K deve essere fissata alla camera del vuoto mediante l apposito hardware Agilent Per ulteriori dettagli consultare la sezione Installazione di ConFlat e ISO K Cavo di alimentazione il cavo adatto al collegamento elettrico è un cavo a 3 conduttori Fase Neutro Terra La sezione del cavo deve essere almeno di 0 75 mm2 AWG18 ATTENZIONE Il TPS compact non può essere fissa...

Page 27: ...ia di ingresso non è collegata alla camera da vuoto o non è chiusa con la flangia di chiusura AVVERTENZA Non toccare la turbopompa e i suoi eventuali accessori durante le operazioni di riscaldamento L elevata temperatura può causare lesioni alle persone AVVERTENZA Evitare urti o spostamenti della turbopompa quando è in funzione I cuscinetti potrebbero danneggiarsi e potrebbero verificarsi danni al...

Page 28: ...Fissaggio del TPS compact In particolare prestare attenzione al design dei morsetti al materiale dei morsetti e ai bulloni e alla coppia di fissaggio dei bulloni Utilizzare solo morsetti o bulloni di classe ad alta resistenza 8 8 AVVERTENZA Se la pompa viene fissata su una camera da vuoto con flange diverse da quelle consigliate da Agilent esiste la possibilità che il TPS ruoti e si distacchi nel ...

Page 29: ...e due flange con i morsetti modello IC63250DCMZ o equivalenti come mostrato nella figura seguente è possibile utilizzare facoltativamente uno schermo protettivo Figura 3 Utilizzare il numero richiesto di morsetti artiglio 4 per la flangia ISO 63 4 per la flangia ISO 100 4 per la flangia ISO 160 Stringere i bulloni con una coppia di 22 Nm ...

Page 30: ...ale fino a quando le facce della flangia si incontrano Stringere le viti con una coppia di 20 Nm Per la flangia ConFlat consigliamo solo l uso di bulloni in acciaio ad alta resistenza Per facilitare il montaggio e lo smontaggio è facoltativo applicare il lubrificante Felpro C 100 ad alta temperatura per le filettature delle viti che sporgono dalla flangia e tra i dadi e la flangia In alcuni casi i...

Page 31: ...a AVVERTENZA L avvio iniziale della pompa TwisTorr 305 FS sarà in modalità SOFT START per informazioni dettagliate su questa modalità consultare la sezione dedicata Il LED blu STATUS posto sul pannello posteriore della base del TPS compact indica con la frequenza del suo lampeggio le condizioni operative del sistema acceso fisso la pompa è in rotazione normale lampeggiante lentamente periodo di ci...

Page 32: ... impostare manualmente la modalità soft start La modalità di avvio graduale richiederà più tempo rispetto all avvio standard l utente deve attendere che la pompa sia completamente a regime prima di arrestarla Dopo il primo avvio la centralina non riavvia la pompa in modalità soft start NOTA Dopo un lungo periodo di inattività 60 giorni o più al fine di consentire nuovamente la corretta ridistribuz...

Page 33: ... valvola di vent attendere che il rotore sia completamente fermo e attendere che la temperatura superficiale della pompa sia inferiore a 50 C Arresto di emergenza Per arrestare in condizioni di emergenza il TPS compact occorre staccare il cavo di alimentazione dalla presa di rete o spostare l interruttore esterno in posizione OFF AVVERTENZA Questa modalità deve essere utilizzata solo in caso di em...

Page 34: ...curarsi che vengano seguite le normative locali per lo smaltimento appropriato Vita del rotore La resistenza alla fatica del rotore della pompa turbomolecolare dipende dalla dimensione della pompa stessa Far riferimento allo specifico manuale della pompa turbomolecolare per il valore corretto numero di cicli di rampa da arresto a piena velocità e ritorno a fine corsa oppure contattare il servizio ...

Page 35: ...uale è applicato NON deve essere smaltito insieme ai comuni rifiuti domestici o industriali ma deve essere avviato ad un sistema di raccolta differenziata Si invita pertanto l utente finale a contattare il fornitore del dispositivo sia esso la casa madre o un rivenditore per avviare il processo di raccolta e smaltimento dopo opportuna verifica dei termini e condizioni contrattuali di vendita Figur...

Page 36: ... servizio di sostituzione o riparazione avanzato si prega di contattare il distributore locale o spedire direttamente a vpt customercare agilent com vpl customercare agilent com È necessario completare il modulo Request for Return per restituire il prodotto ad Agilent per l assistenza fornito alla fine di questo manuale ...

Page 37: ...ng 43 Schutzausrüstung 44 Sicherheitsrichtlinie für Turbomolekularpumpen 45 Transport und Lagerung 46 Produktbeschreibung 47 Installation 48 Vorbereitung zum Einbau 48 Einrichten 49 Montage von TPS compact 50 Anschluss des Hochvakuumflansches 52 Installation des ISO K Flansches 53 Installation des ConFlat Flansches 54 Inbetriebnahme und Betrieb des TPS compact 55 Sanftanlauf 56 Stoppen von Modell ...

Page 38: ...chend geschultes Personal für die Wartungsarbeiten dürfen nicht durch den Benutzer ausgeführt werden Für eine korrekte Installation und Start Stopp der Absatz Installation konsultieren Für eine detailliertere technische Verwendung das Kapitel Technical Information konsultieren HINWEIS 1 Diese Betriebsanleitung enthält nützliche Informationen damit das gesamte Personal das die TPS compact verwendet...

Page 39: ...orsichtshinweise werden vor Verfahren angezeigt die Schäden am Gerät verursachen könnten wenn sie nicht beachtet werden WARNUNG Die Warnhinweise lenken die Aufmerksamkeit des Bedieners auf ein Verfahren oder einen spezifischen Vorgang der schwere Verletzungen von Personen zur Folge haben könnte wenn er nicht korrekt ausgeführt wird HINWEIS Die Hinweise enthalten wichtige Informationen und liefern ...

Page 40: ...d ebenfalls angezeigt Ein dreieckiges Symbol weist auf eine Warnung hin Die Bedeutung der Symbole die neben Warnhinweisen in der Dokumentation oder auf dem Gerät selbst erscheinen können ist wie folgt Schutzerdungsanschluss Nicht berühren Europäische Konformitätserklärung Allgemeine Gefahr Hochspannung Heiße Oberflächen Herstellungsbetrieb Ausschalten Einschalten Beschränkung gefährlicher Stoffe U...

Page 41: ...es Symbol sehen finden Sie in der jeweiligen Betriebs oder Wartungsanleitung das richtige Verfahren auf das sich dieses Warnschild bezieht Die folgenden Symbole werden zu Ihrer Information auf dem Instrument angezeigt Allgemeine Gefahr CE Zertifizierung CSA Zertifizierung RoHS Chinazertifizierung Elektro und Elektronikaltgeräte UK CA Kennzeichnung ...

Page 42: ...cher funktioniert Das in dieser Anleitung beschriebene Produkt ist ausschließlich für den in der Anleitung angegebenen Anwendungsbereich bestimmt Das Handbuch enthält auch Angaben zu den grundlegenden Anforderungen für die Anwendung und den Betrieb des Produkts sowie zu den Sicherheitsmaßnahmen die zur Gewährleistung eines regelmäßigen Betriebs ergriffen werden können Agilent Technologies übernimm...

Page 43: ...iven Gasen Pumpen von kondensierenden Dämpfen Pumpen von Flüssigkeiten Pumpen von Pulver Betrieb mit unzulässig hohem Gasdurchsatz Betrieb mit ungeeignetem Hochvakuumdruck Betrieb mit gewählter Gasart die sich vom tatsächlich verwendeten Gas unterscheidet Betrieb mit hohem Wärmeeintrag Betrieb in unzulässig hohen Magnetfeldern Entlüften mit ungeeignet hohen Entlüftungsraten Verwendung der Vakuumpu...

Page 44: ...h gefährliche Stoffe bei Wartung oder Installation Vakuumpumpen Komponenten oder Betriebsflüssigkeiten können je nach Prozessbesonderheit mit giftigen reaktiven oder radioaktiven Stoffen verunreinigt sein Tragen Sie bei Wartungs und Reparaturarbeiten oder bei einer erneuten Installation angemessene Schutzausrüstung WARNUNG Verletzungsgefahr durch herunterfallende Gegenstände Beim Transport von Vak...

Page 45: ...kann die Rotationsenergie an alle Stellen abgegeben werden an denen die Pumpe befestigt ist siehe Abschnitte Installation des ConFlat Flansches und Installation des ISO K Flansche WARNUNG Um Geräteschäden und Verletzungen des Bedienpersonals zu vermeiden sind die in diesem Handbuch enthaltenen Installationsanweisungen unbedingt zu beachten WARNUNG Wird die Pumpe zum Pumpen von giftigen brennbaren ...

Page 46: ...nten des TPS compact Der Kunde hat die Turbomolekularpumpen nach dem Empfang bei Erstinbetriebnahme stets im Modus Soft Start ingangzusetzen Die Turbomolekularpumpen müssen nach einer gewissen Zeit von 60 Tage von Inaktivität der Pumpe immer sanft gestartet werden VORSICHT Wenn aus irgendeinem Grund die Haltbarkeitsdauer überschritten wird muss die Pumpe an das Werk zurückgeschickt werden Bitte we...

Page 47: ...r und der Primärpumpe besteht Das System eignet sich für die Förderung aller Arten von Gasen oder gashaltigen Gemischen nicht jedoch für die Förderung von Flüssigstoffen oder Festpartikeln Die Pumpwirkung wird durch eine Hochgeschwindigkeitsturbine max 70000 U min erzielt die von einem Hochleistungselektromotor angetrieben wird Modell TPS compact verfügt des weiteren über Zusatzanschlüsse über die...

Page 48: ...rer Lagerung oder beim Versand wieder verwenden zu können Entsorgen Sie das Verpackungsmaterial nicht auf unbefugte Weise Das Material ist zu 100 recycelbar und entspricht der EG Richtlinie 94 62 und nachfolgenden Änderungen VORSICHT Um Ausgasungsprobleme zu vermeiden verwenden Sie keine bloßen Hände um Bauteile zu handhaben die Vakuum ausgesetzt sind Verwenden Sie immer Handschuhe oder einen ande...

Page 49: ...lüssen Regen Eis Schnee Staub aggressiven Gasen oder explosionsgefährdeten Umgebungen ausgesetzt sind Während des Betriebs müssen folgende Umgebungsbedingungen eingehalten werden um Kondensation zu vermeiden Maximaler Druck 2 bar über dem atmosphärischen Druck Temperatur siehe die Handbücher der einzelnen Komponenten des TPS Relative Luftfeuchtigkeit siehe die Handbücher der einzelnen Komponenten ...

Page 50: ... und ISO K Einlassflansch muss mit den entsprechenden Agilent Teilen an der Vakuumkammer befestigt werden Weitere Einzelheiten entnehmen Sie dem Abschnitt Installation von ConFlat und ISO K Versorgungskabel Das Kabel für den Stromanschluss ist dreiadrig stromführendes Kabel Neutralleiter Masse Der Kabelquerschnitt muss mindestens 0 75 mm2 betragen AWG18 VORSICHT TPS compact kann weder über ihren S...

Page 51: ...lansch nicht an die Vakuumkammer angeschlossen oder nicht mit dem Verschlußflansch verschlossen ist WARNUNG Während des Aufheizens dürfen weder die Pumpe noch eventuelle heiße Zubehörteile berührt werden Es besteht Verbrennungsgefahr WARNUNG Die Turbopumpe darf während des Betriebes keinen Stößen oder ruckartigen Bewegungen ausgesetzt werden Die Lager könnten beschädigt werden und Personen oder Ge...

Page 52: ...nen Drehmoment standhält Achten Sie insbesondere auf die Ausführung der Klemmen das Material der Klemmen und Schrauben und den Anzugmoment der Schrauben Verwenden Sie nur Klemmen oder Schrauben mit hohem Widerstand 8 8 WARNUNG Wenn die Pumpe an einer Vakuumkammer mit Flanschen befestigt ist die von den von Agilent empfohlenen Flanschen abweichen besteht die Möglichkeit dass sich der TPS compact dr...

Page 53: ...mit den Klemmen Modell IC63250DCMZ oder einem gleichwertigen Element wie in der folgenden Abbildung dargestellt optional kann ein Schutzgitter verwendet werden Abbildung 8 Verwenden Sie die erforderliche Anzahl von Klauenklemmen 4 für ISO 63 Flansch 4 für ISO 100 Flansch 4 für ISO 160 Flansch Ziehen Sie die Schrauben mit einem Drehmoment von 22 Nm an ...

Page 54: ...equenzielle Anziehen bis die Flanschflächen einander anschlagen Ziehen Sie die Schrauben mit einem Drehmoment von 20 Nm an Für ConFlat Flansche empfehlen wir nur die Verwendung von hochfesten Stahlschrauben Um die Montage und Demontage zu erleichtern kann optional Felpro C 100 Hochtemperaturschmiermittel auf die aus dem Flansch und zwischen den Muttern und dem Flansch herausragenden Schraubengewin...

Page 55: ...rste Start der Pumpe TwisTorr 305 FS erfolgt im Sanftanlauf Modus Ausführliche Informationen zu diesem Modus finden Sie im entsprechenden Abschnitt Die blauen LEDs STATUS an der Bodenplatte von Modell TPS compact gibt mit der Häufigkeit ihres Blinkens die Be triebsbedingungen des System an Daueranzeige Die Pumpe befindet sich im normalen Betrieb Langsame Blinkanzeige ca 400 ms das System befindet ...

Page 56: ...n Softstartmodus manuell einzustellen Der Softstart Modus dauert im Vergleich zum Standardstart länger Der Benutzer muss warten bis die Pumpe vollständig die Geschwindigkeit erreicht hat bevor er die Pumpe anhält Nach dem ersten Start wird die Pumpe von der Steuereinheit nicht mehr im Softstartmodus gestartet HINWEIS Nach längerer Inaktivität 60 Tage oder länger muss die Pumpe über den Softstart M...

Page 57: ...mversorgung entlüften Sie die Pumpe mit dem Entlüftungsventil warten Sie bis der Rotor vollständig stillsteht und bis die Oberflächentemperatur der Pumpe unter 50 C liegt Not Aus Zur Notstillsetzung des TPS compact ist der Netzstecker zu ziehen oder der externe Schalter auf die Schaltstellung OFF zu schalten WARNUNG Diese Betriebsart ist nur im Notfall zu verwenden Die Verwendung dieses Stoppmodus...

Page 58: ...otordauer Die Dauerlastfestigkeit des Rotors der Turbomolekularpumpe hängt stark von der Pumpengröße ab Den zutreffenden Wert sehen Sie bitte in der Anleitung der jeweiligen Pumpe Anzahl der Hochlaufzyklen vom Stillstand auf volle Drehzahl und zurück auf Stillstand Als Vorsichtsmaßnahme empfiehlt Agilent unter Berück sichtigung der typischen Verwendung der Pumpe und unter Berücksichtigung der Sich...

Page 59: ...igt an dass das betreffende Produkt NICHT zusammen mit Haushalts oder Industriemüll entsorgt werden darf sondern einem speziellen Sammelsystem zugeführt werden muss Der Endabnehmer sollte daher den Lieferanten des Geräts d h die Muttergesellschaft oder den Wiederverkäufer kontaktieren um den Entsorgungsprozess zu starten nachdem er die Verkaufsbedingungen geprüft hat Abbildung 10 Logo WEEE Für wei...

Page 60: ...eparaturservice benötigen wenden Sie sich bitte an den örtlichen Händler oder direkt and die Email Adresse vpt customercare agilent com vpl customercare agilent com Das Ausfüllen des Request for Return formulars ist erforderlich um die Pumpe zur Wartung an Agilent zurückzusenden am Ende dieses Handbuchs angegeben ...

Page 61: ...on individuelle 68 Consignes de sécurité pour les pompes turbomoléculaires 69 Transport et entreposage 70 Description du produit 71 Installation 72 Préparation pour l installation 72 Configuration 73 Montage du TPS compact 74 Raccordement de la bride à vide élevé 76 Installation de la bride ISO K 77 Installation de la bride ConFlat 78 Démarrage et utilisation du TPS compact 79 Démarrage progressif...

Page 62: ...tenance plus élevé personnel spécialement formé aux opérations de maintenance ne doivent pas être effectuées par l utilisateur Pour une installation et une mise en marche arrêt correctes consultez le paragraphe Installation Pour une utilisation technologique plus détaillée consultez le chapitre Technical Information NOTE 1 Ce manuel contient des informations utiles pour que l ensemble du personnel...

Page 63: ...ssages d attention sont affichés au début de procédures qui si elles ne sont pas respectées peuvent entraîner des dommages aux équipements AVERTISSEMENT Les messages d avertissement attirent l attention de l opérateur sur une procédure ou une pratique particulière qui si elle n est pas effectuée correctement peut entraîner de graves blessures NOTE Les remarques contiennent des informations importa...

Page 64: ...e indique un avertissement Les significations des symboles qui peuvent apparaître à côté des avertissements dans la documentation ou sur l appareil lui même sont les suivantes Borne de mise à la terre de protection Ne pas toucher Déclaration européenne de conformité Danger générique Tensions dangereuses Surfaces chaudes Site de fabrication Mise hors tension Mise sous tension Restriction de la cert...

Page 65: ...symbole reportez vous au manuel d utilisation ou d entretien correspondant pour connaître la procédure correcte visée par cette étiquette d avertissement Les symboles suivants apparaissent sur l appareil pour votre information Danger générique Certification CE Certification CSA Certification RoHS Chine Déchets d équipements électriques et électroniques Marquage UK CA ...

Page 66: ...ité Le produit décrit dans le présent manuel est destiné exclusivement au domaine d application spécifié dans les instructions Le manuel fournit également des indications concernant les exigences essentielles pour l application et le fonctionnement du produit ainsi que les mesures de sécurité qui peuvent être adoptées pour garantir un fonctionnement régulier Agilent Technologies ne fournit aucune ...

Page 67: ...s liquides pompage de la poussière fonctionnement avec débit de gaz élevé fonctionnement avec des pressions de vide élevées fonctionnement avec la modalité de gaz sélectionnée différente du gaz réellement utilisé fonctionnement avec des apports calorifiques élevés fonctionnement dans des champs magnétiques élevés incorrects évacuation avec des taux d évacuation élevés inappropriés utilisation de l...

Page 68: ...tances dangereuses pendant la maintenance ou l installation En fonction des caractéristiques du processus les pompes à vide les composants ou les fluides de fonctionnement peuvent être contaminés par des substances toxiques réactives ou radioactives Portez des équipements de protection individuelle appropriés pendant la maintenance les opérations de réparation ou de réinstallation AVERTISSEMENT Ri...

Page 69: ...ctionnement d une partie mécanique de la pompe l énergie de rotation peut être libérée sur la pompe à laquelle elle est fixée voir la section Installation de la bride ConFlat et Installation de la bride ISO K AVERTISSEMENT Pour éviter d endommager les équipements et prévenir les risques de blessure des opérateurs respectez rigoureusement les instructions d installation fournies dans le présent man...

Page 70: ...u TPS compact A la première utilisation les pompes turbomoléculaires doivent toujours être mises en marche en mode soft Start les pompes turbomoléculaires doivent toujours être démarrées progressivement après une période d inactivité de 60 jours de la pompe ATTENTION Si pour une raison quelconque la durée de conservation est dépassée la pompe doit être retournée à l usine Contacter le représentant...

Page 71: ...me de pomper tous les types de gaz et de composés gazeux mais il n est pas adapté au pompage de liquides ou de particules solides L action de pompage est obtenue par une turbine à grande vitesse max 70000 tr m entraînée par un moteur électrique à haute performance La pompe est exempte d agents contaminants et par conséquent adaptée aux applications nécessitant un vide pur Le TPS compact est en out...

Page 72: ...urée ou d expédition Ne pas jeter les matériaux d emballage sans autorisation Le matériel est recyclable à 100 et est conforme à la directive 94 62 de la CEE et aux modifications ultérieures ATTENTION Afin de prévenir les problèmes de dégazage ne pas utiliser les mains nues pour manipuler les composants qui seront exposés au vide Toujours porter des gants ou une autre protection adaptée Figure 11 ...

Page 73: ...lace neige de la poussière des gaz agressifs ou dans des environnements explosifs ou présentant un risque élevé d incendie Pendant l exploitation les conditions environnementales suivantes doivent être respectées afin d éviter la condensation pression max 2 bars au delà de la pression atmosphérique température consulter les manuels des composants du TPS compact humidité relative consulter les manu...

Page 74: ...vec bride d entrée ConFlat et ISO K doit être fixée à la chambre à vide au moyen du matériel Agilent approprié Pour plus de détails voir la section Installation de la ConFlat et de l ISO K Câble d alimentation le cable destine au raccordement électrique doit avoir trois conducteurs Phase Neutre Terre La section du cable doit être de 0 75 mm minimum AWG18 ATTENTION Le TPS compact ne peut pas être f...

Page 75: ...elle n est pas fermée avec la bride de fermeture AVERTISSEMENT Éviter de toucher la turbopompe ainsi que ses accessoires éventuels pendant les opérations de chauffage La température élevée peut être à l origine de lésions graves AVERTISSEMENT Éviter tout choc ou déplacement de la turbopompe lorsqu elle est en marche Cela pourrait endommager les paliers et provoquer de graves dommages aux personnes...

Page 76: ...ontage du TPS compact Porter une attention particulière à la conception des colliers au matériau des colliers et des boulons et au couple de fixation des boulons Utiliser uniquement des colliers ou boulons de classe haute résistance 8 8 AVERTISSEMENT Si la pompe est fixée sur une chambre à vide avec des brides différentes de celles recommandées par Agilent le TPS compact risque de se tordre ou de ...

Page 77: ...les deux brides avec les attaches modèle IC63250DCMZ ou équivalent comme indiqué dans la figure suivante un écran de protection peut être utilisé en option Figure 13 Utiliser le nombre requis de brides de serrage 4 pour la bride ISO 63 4 pour la bride ISO 100 4 pour la bride ISO 160 Serrez les boulons au couple de 22 Nm ...

Page 78: ...bride se rencontrent Serrer les vis à un couple de 20 Nm Pour la bride ConFlat nous recommandons l utilisation de boulons en acier à haute résistance uniquement Pour faciliter l assemblage et le démontage vous avez la possibilité d appliquer du lubrifiant à haute température Felpro C 100 sur les filetages de vis dépassant de la bride et entre les écrous et la bride Dans certains cas les raccordeme...

Page 79: ... signaux reconnus le contrôleur démarre la pompe AVERTISSEMENT Le démarrage initial de la pompe TwisTorr 305 FS sera en mode Démarrage progressif pour plus d informations sur ce mode reportez vous à la section dédiée La LED bleu STATUS placée sur le panneau arrière de la base du TPS compact indique par sa fréquence de clignotement les conditions opérationnelles du système allumée fixe la pompe est...

Page 80: ... démarrage progressif Le mode Démarrage progressif prend plus de temps que le mode Démarrage standard l utilisateur doit attendre que la pompe atteigne complètement sa vitesse avant de l arrêter Après le premier démarrage la pompe ne sera plus démarrée en mode Démarrage progressif par l unité de commande NOTE Après une longue période d inactivité 60 jours ou plus afin de permettre à nouveau la red...

Page 81: ... la valve de purge attendre que le rotor soit complètement arrêté et que la température de surface de la pompe soit inférieure à 50 C Arrêt d urgence Pour arrêter le TPS compact en condition d urgence débrancher le cordon d alimentation de la prise ou placer l interrupteur extérieur sur OFF AVERTISSEMENT Ce mode ne doit être utilisé qu en cas d urgence L utilisation de ce mode d arrêt peut entraîn...

Page 82: ... mise au rebut appropriée Durée de vie du rotor La résistance à la fatigue du rotor de la pompe turbomoléculaire dépend fortement de la taille de la pompe Se référer au manuel spécifique de la pompe pour la valeur correcte nombre de cycles de montée de l arrêt à la pleine vitesse et retour à l arrêt Par mesure de précaution compte tenu de l utilisation typique de la pompe et des limites de sécurit...

Page 83: ... lequel il est apposé NE DOIT PAS être éliminé avec des déchets ménagers o industriels communs mais qu il doit être confié à un centre de collecte sélective L utilisateur est donc invité à contacter le fournisseur du produit qu il s agisse du fabricant ou d un revendeur pour donner lieu au processus de collecte et d élimination après avoir vérifié les conditions générales de vente Figure 15 Logo D...

Page 84: ...échange ou de réparation avancé veuillez contacter le distributeur local ou directement par courrier à vpt customercare agilent com vpl customercare agilent com Vous devez remplir le formulaire de Request for Return pour retourner votre pompe à Agilent pour l entretien fourni à la fin du présent manuel ...

Page 85: ...ridad para bombas turbomoleculares 93 Transporte y almacenamiento 94 Descripción del producto 95 Instalación 96 Preparación para instalación 96 Puesta en marcha 97 Montaje de TPS compact 98 Conexión de la brida de alto vaciado 100 Instalación de la brida ISO K 101 Instalación de la brida ConFlat 102 Puesta en marcha y funcionamiento de TPS compact 103 Arranque suave 104 Parada del TPS compact 105 ...

Page 86: ...as con el nivel más elevado de mantenimiento personal específicamente capacitado para las operaciones de mantenimiento no deben ser realizadas por el usuario Para una instalación y arranque parada correctos consulte el párrafo Instalación Para una instalación y un encendido apagado correctos consulte la sección Technical Information NOTA 1 Este manual contiene información útil para que todo el per...

Page 87: ...ajes de precaución se muestran antes de los procedimientos que si no se respetan pueden causar daños al equipo ADVERTENCIA Los mensajes de advertencia llaman la atención del operador sobre un procedimiento o práctica específica que si no se realiza correctamente puede causar lesiones personales graves NOTA Las notas están previstas para llamar la atención sobre información importante y proporciona...

Page 88: ...ligro que describen Un símbolo triangular indica una advertencia Los significados de los símbolos que pueden aparecer junto a las advertencias en la documentación son los siguientes Terminal protectora de tierra No tocar Declaración Europea de Conformidad Peligro genérico Voltajes peligrosos Superficie caliente Lugar de fabricación Apagado Encendido Certificación de Restricción de Sustancias Pelig...

Page 89: ...to Cuando vea este símbolo consulte la operación relevante o el manual de servicio para el procedimiento referido por dicha etiqueta de advertencia Los siguientes símbolos aparecen en el instrumento para su información Peligro genérico Certificación CE Certificación CSA Certificación China RoHS Equipo de Desecho Eléctrico y Electrónico Marca UK CA ...

Page 90: ...ione de manera segura El producto descrito en el presente manual está destinado exclusivamente al área de aplicación especificado en las instrucciones El manual también proporciona indicaciones acerca de los requisitos esenciales para la aplicación y funcionamiento del producto así como las medidas de seguridad que pueden ser adoptadas para garantizar el funcionamiento regular Agilent Technilogies...

Page 91: ...santes bombear líquidos bombear polvo funcionamiento con capacidad de gas alta incorrecta funcionamiento con presiones de pre vaciado altas incorrectas funcionamiento con modalidad de gas seleccionada diferente del gas utilizado funcionamiento con altos niveles de aporte de calor funcionamiento en campos magnéticos altos incorrectos descargar con velocidad de descarga alta incorrecta uso de la bom...

Page 92: ...tenimiento o la instalación Dependiendo de la peculiaridad del proceso las bombas de vacío los componentes o los fluidos de funcionamiento pueden estar contaminados con sustancias tóxicas reactivas o radioactivas Use el equipo de protección adecuado durante el mantenimiento y las reparaciones o en caso de volver a instalar el equipo ADVERTENCIA Riesgo de lesiones debido a la caída de objetos Cuand...

Page 93: ... En caso de avería de una parte mecánica de la bomba la energía de rotación podría pasarse a lo que esté fijada la bomba consulte la sección Instalación de la brida ISO K y Instalación de la brida ConFlat y ISO K ADVERTENCIA Para evitar daños al equipo y prevenir lesiones al personal operativo se deben cumplir estrictamente las instrucciones de instalación indicadas en este manual ADVERTENCIA Cuan...

Page 94: ...te del TPS compact el cliente deberá activar siempre las bombas turbomoleculares en modalidad Soft Start al recibirlas y ponerlas en funcionamiento por primera vez las bombas turbomoleculares deben iniciarse con arranque suave siempre después de un período de 60 días de inactividad de la bomba PRECAUCIÓN Si por cualquier motivo la vida útil es excedida la bomba deberá ser devuelta a la fábrica Por...

Page 95: ...uede bombear cualquier tipo de gas o de composición gaseosa pero no es adecuado para bombear líquidos o partículas sólidas La acción de bombeado se obtiene a través de una turbina de alta velocidad max 70000 rpm impulsada por un motor eléctrico de alto rendimiento Está libra de agentes contaminantes y por tanto es adecuada para aplicaciones que requieran un vacío limpio El TPS compact posee conect...

Page 96: ...namiento durante largos períodos de tiempo o en caso de envío No tire los materiales de embalaje de manera no autorizada El material es 100 reciclable y cumple con la Directive EEC 94 62 y modificaciones posteriores PRECAUCIÓN Para evitar problemas de liberación de gases no utilice las manos para manejar los componentes que estén expuestos a la bomba Utilice guantes u otra protección adecuada siem...

Page 97: ...luvia hielo nieve polvo gases agresivos o en ambientes explosivos o con un alto riego de incendio Durante el funcionamiento las siguientes condiciones ambientales deben cumplirse para evitar la condensación presión máxima 2 bares por encima de la presión atmosférica temperatura consultar los manuales de cada componente del TPS compact humedad relativa consultar los manuales de cada componente del ...

Page 98: ...n brida de entrada ConFlat e ISO K debe estar fijada a la cámara de vacío mediante las herramientas adecuadas de Agilent Para más detalles consulte la sección Installation of ConFlat and ISO K Cable de alimentación el cable adecuado para la conexión eléctrica es un cable de tres conductores Fase Neutro Tierra El cable debe tener una sección de al menos 0 75 mm2 AWG18 PRECAUCIÓN El TPS compact no p...

Page 99: ...ctada a la cámara de vacío o no está cerrada con la brida de cierre ADVERTENCIA No tocar la turbobomba y sus posibles accesorios durante las operaciones de calentamiento La alta temperatura puede provocar lesiones a las personas ADVERTENCIA Evitar los golpes o bruscos desplazamientos de la turbobomba cuando está en marcha Los rodamientos se podrían dañar y se podrían verificar daños a las personas...

Page 100: ...ficada en la sección Montaje de TPS compact Preste especial atención al diseño de la pinza los materiales de las pinzas y tornillos y la torsión de fijación del tornillo Utilice solo pinzas o tornillos de clase de resistencia alta 8 8 ADVERTENCIA Si la bomba está fijada a una cámara de vacío con bridas diferentes a las recomendadas por Agilent es posible que el TPS compact se tuerza o se rompa si ...

Page 101: ...ete las dos bridas con el modelo de pinzas IC63250DCMZ o equivalente como se muestra en la figura siguiente se puede utilizar una pantalla de protección opcionalmente Figura 18 Utilice el número de pinzas de garra requerido 4 para brida ISO 63 4 para brida ISO 100 4 para brida ISO 160 Ajustar los tornillos con un par de 22 Nm ...

Page 102: ...pretar en secuencia hasta que las caras de la brida se encuentren Apriete los tornillos con una torsión de 20 Nm Para la brida ConFlat le recomendamos que use solo tornillos de acero de alta resistencia Para facilitar el montaje y desmontaje es opcional aplicar lubricante de alta temperatura Felpro C 100 a las roscas de los tornillos que sobresalgan de la brida y entre las roscas y la brida En alg...

Page 103: ...erfaz del controlador ADVERTENCIA El arranque inicial de la bomba TwisTorr 305 FS estará en modo Arranque suave para más información sobre este modo consulte la sección dedicada El LED azul STATUS situado en el panel trasero de la base del TPS compact indica con la frecuencia de su parpadeo las condiciones operativas del sistema encendido fijo la bomba está en rotación normal parpadea lentamente p...

Page 104: ...odo de arranque suave El modo de arranque suave tardará más tiempo comparado con el arranque normal el usuario debe esperar a que la bomba haya alcanzado la velocidad completamente antes de detener la bomba Después del primer arranque la unidad de control no iniciará la bomba en el modo de arranque suave de nuevo NOTA Después de un periodo de inactividad largo 60 días o más para permitir de nuevo ...

Page 105: ...ente de alimentación descargue la bomba con la válvula de descarga espere hasta que el rotor esté completamente detenido y espere hasta que la temperatura de la superficie de la bomba esté por debajo de 50ºC Parada de emergencia La parada de emergencia puede conseguirse extrayendo la fuente de alimentación ADVERTENCIA Este modo debe ser utilizada solo en caso de emergencia El uso de este modo de p...

Page 106: ...cia a la fatiga del rotor de la bomba turbomolecular depende en gran medida del tamaño de la bomba Consulte el manual específico de la bomba para conocer el valor correcto número de ciclos de aceleración desde la parada a la velocidad máxima y de regreso a la parada Como medida de precaución considerando el uso típico de la bomba y teniendo en cuenta los límites de seguridad Agilent recomienda dev...

Page 107: ... Europea indica que el producto en el que se aplica NO debe desecharse con la basura doméstica o industrial común sino que debe enviarse a un sistema de recolección diferenciada Se invita al usuario final a comunicarse con el proveedor del dispositivo ya sea directamente con la Casa Matriz o con un revendedor para iniciar el proceso de recolección y eliminación después de verificar las condiciones...

Page 108: ...cio de intercambio avanzado o reparación contacte con un distribuidor local o contacte por correo a vpt customercare agilent com vpl customercare agilent com Es obligatorio completar la Request for Return para devolver su bomba a Agilent para mantenimiento proporcionada al final del presente manual ...

Page 109: ...小心警告和注意的定义 111 警告符号 112 安全 114 正确使用 114 使用不当 115 防护设备 116 涡轮分子泵安全指南 117 运输及存储 118 产品描述 119 安装 120 安装准备 120 设置 121 TPS compact 的安装 122 高真空法兰的连接 124 ISO K 法兰的安装 125 ConFlat 法兰的安装 126 TPS compact 的启动和运行 127 慢启动 128 停止 TPS compact 129 紧急停止 129 维护 130 转子寿命 130 清洁 130 处置 131 服务 132 ...

Page 110: ...ompact用户说明特别注意与安全操作和一级维护有关的注意事项受用户负责的维护操作限制维护操作在特定章节中说明对于更高等级的维护设有具体规定接受过维护操作专门培训的人员用户不得执行此类操作有关正确的安装和启动停止请参阅安装章节要正确安装和启动停止请参考 Technical Information 章节注意 1 本手册包含有用信息确保所有使用 TPS compact 的人员可以安全操作在设备整个寿命期内发挥完美效率 2 将本手册和所有相关出版物放置在所有操作员维护人员方便访问的位置 ...

Page 111: ...使用说明 Agilent TPS compact User Manual 111 定义与术语小心警告和注意的定义本手册的一些重要参考内容用背景色突出显示小心程序开始前提示小心消息如果不遵守过程指示可能导致设备损坏警告警告消息提醒操作员注意特定过程或做法如果执行错误可能导致人员重伤注意注意旨在让人注意重要信息提供具体步骤的更多详细信息 ...

Page 112: ...使用说明 112 Agilent TPS compact User Manual 警告符号以下是在 TPS compact 上与警告一起显示的符号列表还显示了这些符号所指的危险三角形符号表示警告在文档或仪器警告旁边可能出现的符号含义如下保护接地端子请勿触摸欧洲符合性声明一般危险表示危险电压表面较热生产现场电源关闭电源开启有害物质认证限制 UK CA 打標 ...

Page 113: ...使用说明 Agilent TPS compact User Manual 113 以下符号可用作附在仪器上的警告标签当您看到此符号时请参阅相关操作或维修手册了解该警告标签所指的正确操作过程以下符号会出现在仪器上以供您参考一般危险 CE认证 CSA 认证 RoHS中国认证废弃电气和电子设备 UK CA 打標 ...

Page 114: ...遵守技术文档中的安全规定而导致的机器损坏或者操作员或第三方人身伤害 Agilent Technologies 不承担任何责任正确使用本手册包含机器安全工作需要遵守的重要警告和安全说明本手册所述产品仅用于本手册指定的应用领域手册还规定了产品应用和操作基本要求相关的说明以及可确保正常运行的安全措施对于将产品用于非本手册介绍的用途或者产品使用过程中不遵守基本要求和安全措施 Agilent Technologies 不承担任何责任必须由能够采取必要安全措施不会导致损坏或受伤的具备资质人员使用产品产品的配套配件和设备必须由 Agilent Technologies 提供或授权使用必须由了解相关风险的专业技术人员执行任何调整或维护操作必须由 Agilent 授权人员执行产品维修 ...

Page 115: ...科技公司 Agilent Technologies 不承担任何责任使用不当将导致所有责任保证和索赔保证失效使用不当的定义为使用未指定的安装材料安装泵泵送氧化性腐蚀性气体但没有适当的废液排空泵送爆炸气体泵送冷凝蒸汽泵送液体泵送粉尘气体产量过高的情况下作业前真空压力过高的情况下作业使用与实际使用的气体不同的选定气体方式进行操作高热输入运行磁场过高的情况下作业使用过高的通速率进行通使用真空泵来产生压力在电离辐射区域运行设备在潜在爆炸区作业明知系统会受其影响依然在应力和振动导致周期性重复出现冲击和力作用的环境中使用系统 ...

Page 116: ...操作员必须始终使用适合操作类型的防护设备此外它必须符合使用机器所在国家的现行立法安全要求通常操作员在操作TPS compact时和安装过程中必须穿防事故鞋警告维护或安装时危险物质导致的健康危险根据流程特性真空泵组件或工作流体可能被有毒反应性或放射性物质污染维护维修或重新安装时穿戴合适防护设备警告掉落物体导致受伤的风险手动运输真空泵时存在重物滑动和掉落的危险双手搬运中小型真空泵如果设备重量超过 20 kg 应使用合适的起吊设备运输穿着符合指令 EN 347 并带有铁鞋头的安全鞋 ...

Page 117: ...真空法兰内操作如有必要请按照 EN 420 佩戴防护手套涡轮分子泵安全指南以下操作手册中描述的涡轮分子泵包含大量动能因为旋转速度高加上转子拥有特定质量在泵的机械部件发生故障的情况下旋转能量可能会释放到泵所固定的任何位置見段落 ConFlat 法兰的安装 ISO K 法兰的安装警告为避免损坏设备并防止操作人员受伤应严格遵守本手册中提供的安装说明警告当使用泵抽吸有毒易燃或放射性气体时请遵循每种气体处理所需的程序该泵旨在泵送高吞吐量的 N2 Ar 和较轻的气体如果您需要泵送比氩气 Ar 重的气体请联系安捷伦技术支持以获取信息 TPS compact 不适用于存在侵略性腐蚀性或爆炸性气体的环境 ...

Page 118: ...高性能和可靠性必须遵循以下准则以避免出现冷凝的情况运输移动和存储泵时不应超出以下环境条件温度范围参考单个TPS compact组件手册相对湿度范围参考单个TPS compact组件手册涡轮分子泵在首次由客户接收和操作时必须进行慢启动涡轮分子泵必须在泵处于非活动状态的 60天月后进行慢启动小心如果由于任何原因超过保质期必须将泵退回工厂请联系当地的安捷伦真空销售和服务代表以了解相关信息警告处理重部件时要格外小心建议两人一起将其抬起如果未在两人一起抬起的情况下进行操作可能会导致人身伤害 ...

Page 119: ...真空应用能够泵送任何类型的非腐蚀性和氧化性气体或气体化合物 TPS compact 是一個帶有渦輪分子泵的集成系統 TwisTorr 74 FS Twistorr 305 FS 適用於與其相關控制器及其主泵相關的高真空和超高真空應用該系統可以泵送任何類型的氣體或氣體化合物不適用於泵送液體或固體顆粒泵送作用通过由高性能电机驱动的高速涡轮最大 70000 rpm 获得它不含污染剂因此适用于需要清洁真空的应用 TPS compact 还具有辅助连接器通过它可以通过主机远程驱动它通过串行线连接详细信息可参考技术信息章节 ...

Page 120: ... 如果表现出在运输过程中可能发生损坏的迹象请联系您当地的销售办事处避免因放下 TPS compact造成突然撞击请注意保存好包装盒以便在存放时间过或运输时重复使用请勿以未经授权的方式处理包装材料该材料是100 可回收的符合EEC指令 94 62号和随后颁布的修正案小心为防止出现脱气问题请勿赤手操作会暴露在真空中的组件始终使用手套或其他适当的保护措施图 21 注意正常暴露于环境中不会损坏 TPS compact 不过还是建议将其密封在塑料袋中直到安装到系统中为止从而防止灰尘对其造成任何形式的污染 ...

Page 121: ...ser Manual 121 设置小心在准备好将涡轮泵安装到系统中之前请勿拆下粘合剂和保护盖图 22 仅将本设备安装在室内请勿在暴露于大气物质雨冰雪灰尘腐蚀性气体或爆炸性环境或高火灾险的环境中使用泵在操作过程中必须遵守以下环境条件以避免冷凝最大压力高于大气压 2 bar 温度参考单个TPS compact组件手册湿度范围参考单个TPS compact组件手册在存在磁场的情况下必须使用铁磁屏蔽来保护泵送系统 ...

Page 122: ...TPS compact 只能安装在垂直位置 TPS compact可安装在任何位置将TPS compact固定在稳定位置将涡轮泵的进气法兰安装到系统对接法兰上带有ConFlat 和 ISO K 入口法兰的涡轮泵必须通过适当的安捷伦硬件固定在真空室上有关详细信息请参阅 ConFlat 和 ISO K的安装章节电源线正确的电线电缆是三芯 Ph N Earth 电缆电线截面必须至少为 0 75 mm2 AWG18 小心 TPS compact 不能通过其底座或其他非入口法兰固定警告系统必须以能够轻松中断线路电压的方式进行安装小心确保系统周围至少有 20 厘米的自由空间以允许适当的空气流通 ...

Page 123: ...序在使用系统之前进行所有电气和气动连接在加热真空室时入口法兰的温度不得超过 120 C 使用 ConFlat 法兰和 80 C 使用 ISO 法兰警告当涡轮进气法兰未连接到真空室或未封闭时切勿使用泵系统警告请勿在加热过程中接触涡轮分子泵或其任何附件高温可能会导致灼伤警告避免泵在运行时受到冲击或发生剧烈运动轴承可能会损坏并可能对人体或物品造成损害小心使用不含灰尘颗粒或湿气的惰性气体如氮气为泵排气排气口的压力必须小于 2 bar 高于大气压警告不要在存在爆炸性有毒易燃或放射性氣體的情況下使用泵系統 ...

Page 124: ...空法兰的连接如果转子突然停止则必须通过紧固高真空法兰的硬件来吸收产生的扭矩螺栓或硬件必须符合以下规格警告必須以能夠承受 TPS compact 的安装部分中指定的扭矩的方式連接泵特別注意卡箍的設計卡箍和螺栓的材料和螺栓固定扭矩仅使用高电阻级夹具或螺栓 8 8 警告如果泵固定在真空室上其法兰与安捷伦推荐的法兰不同则转子突然停止时 TPS compact 将会有扭曲或撕裂的可能性不允许将不同法兰类型组合使用安捷伦对因紧固不当造成的所有损害不承担任何责任 ...

Page 125: ...使用说明 Agilent TPS compact User Manual 125 ISO K 法兰的安装对于ISO K法兰连接请使用下图所示的IC63250DCMZ型夹具或等效夹具固定两个法兰可选使用保护屏图 23 使用所需数量的夹钳 4 表示 ISO 63 法兰 4 表示 ISO 100 法兰 4 表示 ISO 160 法兰用22 Nm的扭矩拧紧螺栓 ...

Page 126: ...ConFlat法兰连接请如下图所示用螺钉固定两个法兰可以选择使用保护屏图 24 使用所需数量的螺钉 16 表示CFF 6 20 表示 CFF 8 连接装置并依次拧紧每个螺钉重复顺序拧紧直到法兰面相重合以 20 Nm 的扭矩拧紧螺钉对于 ConFlat 法兰我们建议仅使用高强度钢螺栓为了便于组装和拆卸可以选择将Felpro C 100高温润滑剂涂在法兰突出的螺母上以及螺母与法兰之间的螺纹上在某些情况下只能使用下侧的螺栓进行连接小心擰緊螺母和螺栓時要小心以免在渦輪分子泵殼上產生凹痕 ...

Page 127: ...压到系统电子单元的底盘如要启动TPS compact 只需提供主电源再将外部开关移到ON位置就可以了集成控制器会自动识别主电源并启动泵警告 TwisTorr 305 FS 泵的初始启动将处于软启动模式有关此模式的详细信息请参阅其专用章节位于TPS compact底座后面板上的蓝色LED灯 STATUS 以其闪烁频率指示系统运行状况无闪烁泵正常旋转慢闪周期约400 ms 系统处于斜坡制动停止或等待联锁的状态快速闪烁周期约200 ms 错误状态有关TPS compact控制面板的详细说明请参见附录的技术信息章节 ...

Page 128: ... 可确保泵平稳地达到转速并对轴承进行适当的润滑连接到泵的控制单元具有运行泵的默认设置仅在第一次启动控制单元时如果将新泵与使用过的控制单元一起使用请记住手动设置慢启动模式与标准启动相比慢启动模式需要更的时间用户必须等待泵完全达到转速然后才能停止泵第一次启动后控制单元不会再次在慢启动模式下启动泵注意长时间不活动 60 天或更长时间后为了再次正确重新分配轴承中的润滑脂有必要通过慢启动模式再次启动泵警告请参阅控制器的相关说明手册以找到激活慢启动模式的适当说明集远程技术信息控制器连接和窗口含义的章节板载技术信息互连和窗口含义的章节 ...

Page 129: ... 停止 TPS compact 如要关闭TPS compact 将外部开关移到OFF位置就可以了集成控制器会立即停止泵送系统警告在对系统进行任何操作之前将其从电源断开用排气阀向泵排气在转子完全停止后等待泵的表面温度降低到 50 C 以下紧急停止如要在紧急情况下立即停止TPS compact 必须从电源插头上拔下电源线或将外部开关移至OFF位置警告此模式仅在紧急情况下使用使用此停止模式可能导致泵出现故障和或损坏不正确使用此停止模式可能会使保修失效 ...

Page 130: ...维护 TPS compact 不需要任何维护除了更换尖端密封件任何工作必须由授权人员进行如果出现故障请联系您当地的安捷伦服务中心如果需要废除系统请确保在遵守当地法规的情况下进行适当处置转子寿命渦輪分子泵轉子的抗疲勞性在很大程度上取決於泵的尺寸有關正確值從停止到全速再到停止的加速循環數請參閱特定的泵手冊考虑到泵的通常使用情况以及安全限制作为预防措施安捷伦建议在使用 17 年后退回泵以进行维护清洁 TPS compact的外表面只能用温和的清洁剂清洁 ...

Page 131: ...anual 131 处置标签中的 WEEE 徽标含义按照 EC WEEE 废电子电气设备指令应用以下符号此符号仅在欧盟国家有效表示所适用产品不得与家庭或工业垃圾一起处置必须送至专门废弃物回收系统因此欢迎最终用户联系设备供应商无论是母公司还是零售商在检查销售合同条款后启动回收和处置流程图 25 WEEE 徽标有关更多信息请参考 http www agilent com environment product index shtml ...

Page 132: ...使用说明 132 Agilent TPS compact User Manual 服务如果客户需要高级替换或维修服务请联系当地经销商或直接发送邮件至 vpt customercare agilent com vpl customercare agilent com 需要填写 Request for Return 表才能将泵退回到 Agilent 维修部门在本手册末尾会提供 ...

Page 133: ...性 138 適切な使用 138 不適切な使用 139 保護用装備 140 ターボ分子ポンプ用安全ガイドライン 141 輸送と保管 142 製品説明 143 取り付け 144 取り付けの準備 144 セットアップ 145 TPS compact 実装 146 高真空フランジの接続 148 ISO K フランジの取り付け 149 ConFlat フランジの取り付け 150 TPS compact コンパクトの起動と操作 151 ソフトスタート 152 TPS compact コンパクトを停止する 153 非常停止 153 メンテナンス 154 ローターの寿命 154 クリーニング 154 処分 155 サービス 156 ...

Page 134: ...をユーザーに説明します高度なメンテナンスメンテナンス手順の個別訓練を受けた人員に関連した各条項とあわせて各セクションで説明するメンテナンス手順はユーザーは行わないでください正しい取り付けと起動停止については取り付けの章をご確認ください正しい取付および始動停止については Technical Information セクションを参照してください注 1 本説明書には TPS compact を使用する人員がすべて安全に使用できまた機器使用寿命中に効率よく使用できるのに役立つ情報が記載されています 2 本説明書は関連するすべての刊行物とあわえてオペレータメンテナンス要員に分かりやすい取り扱いしやすい場所に保管してください ...

Page 135: ...al 135 定義と用語警告注意注の定義このマニュアルのいくつかの重要な参照部は対比色でハイライトされ枠で囲ってあります注意注意のメッセージはもし監視されていない場合に装置に損害が生じる可能性を示しています警告警告のメッセージはもし正しく操作されない場合に重大な人身障害につながる可能性がある特定の操作や実行への操作者の注意の必要性を示しています注注は重要な情報への注意喚起と特定の工程に関してのより詳細な情報を提供しています ...

Page 136: ... TPS compact User Manual 警告の記号下記は TPS compact上の警告と併せて表示される記号のリストです危険性の説明も記載されています三角の記号は警告を示しています説明書内または装置上の警告記号と供に示されうる記号の意味は下記の通りです保護接地端子触らないでください CE適合宣言書包括的な危険危険な電圧高温の表面製造所電源オフ電源オン EU RoHS指令認証 UK CAマーキング ...

Page 137: ...PS compact User Manual 137 下記の記号は装置に貼り付けられた警告ラベル上に使用されることがありますもしこの記号を目視した場合その警告ラベルに関する正しい工程のために関連する操作またはサービスマニュアルを参照してください参考情報として下記の記号は装置上に示されます包括的な危険 CE認証 CSA 認証中国RoHS 指令認証廃電気電子製品に関するEU WEEE指令 UK CAマーキング ...

Page 138: ...全て拒否します適切な使用このマニュアルは装置一式が安全に機能するために遵守されるべき重要な警告と安全の手引きを含みますこのマニュアルに説明されている製品は説明書に特記されている分野への活用に限定した目的のものですマニュアルはまた製品の活用と操作に必須の要件に関する指示と標準の操作を保証するために適用される安全対策を提供しますアジレントテクノロジー株式会社はこのマニュアル内説明されているもの以外の適用または必須の要件や安全対策に注意が払われていない場合にいかなる保証も提供せずまたはいかなる責任も負いません製品は損傷や怪我を生じさせない状況下において必要な安全対策を講じることができる有資格者のみ使用することができます製品と供に使用されたいかなる付属品や機器もアジレントテクノロジー株式会社により共有もしくは承認されたものでなければなりませんいか...

Page 139: ...不適切な使用は下記の通り定義されます不特定の取り付け用具を使用したポンプの取り付け適切な廃棄フローの排出なしに酸化性ガス腐食性ガスを汲み上げること爆発性のガスをポンプすること凝縮した蒸気をポンプすること液体をポンプすること粉末をポンプすること不適切な高ガス量での操作不適切な高圧補助真空での操作実際に使用されるガスのものとは異なる選択されたガスのモダリティでの操作高レベルの入熱での操作不適切な高い磁界での操作不敵な高い通気率での通気圧力を生じさせるための真空ポンプの使用電離放射線の範囲内での機器の操作潜在的に爆発性がある範囲での操作圧力と振動がシステムに影響を与える定期的に繰り返される衝撃と力につながる環境でシステムを使用すること ...

Page 140: ...ん一般的に一般的に操作者は TPS compact を操作している時や取り付けの時に事故防止の靴を着用しなくてはなりません警告メンテナンスまたは取り付け時に有害物質による健康への危険過程の異常な点により真空ポンプ構成部分または操作液は有害物質反応性物質もしくは放射性物質に汚染される場合がありますメンテナンスや修理もしくは再度取り付け時には適切で十分な保護装備を着用してください警告装置の落下による損傷のリスク真空ポンプを手で運搬する場合荷重が滑り落ちる危険があります両手で小型中型の真空ポンプを運んでください 20 kg 以上のいかなる装置も適切なリフトの機器を使用して運搬されなければなりません指令 EN 347 にしたがって爪先が鋼製の安全長靴を着用してください ...

Page 141: ...t特定の質量との組み合わせで高回転速度により大量の運動エネルギーを含有しますポンプの機械的な部分の機能不良の場合回転エネルギーはポンプが固定されているどの部分へも放出されていますセクションを参照 ConFlatフランジの取り付けと SO K フランジの取り付けセクションを参照 ConFlatフランジの取り付けと ISO K フランジの取り付け警告装置の損傷と操作者の怪我を避けるためにこのマニュアルに記載された取り付けの指示に厳密に従ってください警告有毒ガス可燃性ガスまたは放射性ガスをポンプするためにポンプを使用する場合は各ガス処理に必要な手順に従ってくださいポンプは N2 Ar とより軽いガスの高スループットをポンプするように設計されています Ar より重いガスをポンプする必要がある場合は詳細情報に関して Agilent の技術サポートへお問い...

Page 142: ... 単一TPS compactコンポーネントのマニュアルを参照してください相対湿度範囲単一TPS compactコンポーネントのマニュアルを参照してくださいお客様がポンプを受け取ってから最初に操作する際にはターボ分子ポンプは常にゆっくりと開始されなければなりませんポンプを60日間月以上使用していない場合ターボ分子ポンプは常にゆっくりと開始されなければなりません注意もしいかなる理由により保存可能期間を超過した場合ポンプは工場へ返送されなければなりませんアジレントの現地の販売者やサービス担当者へ情報をお問い合わせください警告重い部品の取り扱いには細心の注意を払ってください持ち上げる場合は 2 人で行うことを推奨します 2 人で持ち上げない場合怪我をする可能性があります ...

Page 143: ...orr 74 FS Twistorr 305 FS 関連するコントローラーとプライマリポンプに関連する高真空および超高真空アプリケーション用このシステムはあらゆるタイプのガスまたはガス化合物をポンプで送ることができます液体や固体粒子のポンピングには適していませんポンプの動作は高性能電子モータにより駆動し高速タービン最大70000 rpm により得られます汚染物質がなくゆえに清潔な真空を必要とする活用に最適です TPS compactにはシリアル回線を介して接続されたホストコンピュータを使用してリモートサイトから制御される補助コネクタが装備されていますより詳細な情報は技術的情報のセクションに記載されています ...

Page 144: ...ださい長期間の保存または輸送の場合のために梱包ボックスを保持するようにご注意ください許可されていない方法で梱包材料を破棄しないでください材料は100 リサイクルが可能で EEC指令94 62とそれに準ずる改正を遵守しています注意ガス放出の問題を避けるために真空に露出される構成部を素手で取り扱わないでください常に手袋やその他適切な保護製品をご使用くださいガス放出の問題を防ぐために真空にさらされるコンポーネントを素手で取り扱わないでください常に手袋やその他の適切な保護具を使用してください图 26 注通常環境への露出は TPS compact を損傷しませんしかしながらちりホコリによるいかなる種類の汚染を防ぐのでシステムに取り付けられるまでビニールの袋に密閉して保管することが推奨されます ...

Page 145: ...り外さないでください图 27 この機器は屋内でのみ取り付けてくださいまたポンプを大気物質雨氷雪ちりホコリ侵略的ガスなどに露出する環境または爆発の可能性がある環境または燃えやすい環境下では使用しないでください操作中凝縮をさけるために下記の環境状況は遵守されなければいけません最大圧力大気圧より2バール上温度単一TPS compactコンポーネントのマニュアルを参照してください相対湿度単一TPS compactコンポーネントのマニュアルを参照してください磁場が存在する環境下ではポンプシステムは強磁性シールドを使用して保護する必要があります ...

Page 146: ...pactを安定した位置に固定しターボポンプのインレットフランジをシステムのカウンターフランジに取り付けます ConFlat と ISO K 吸気フランジのターボポンプは適切なアジレントのハードウェアを用いて真空チェンバーへ固定されなければなりません更なる詳細は ConFlatとISO Kの取り付けセクションをご覧ください電源コード電気配線用の正しいケーブルは 3線 Ph N Earth ケーブルです線の部分は少なくとも0 75 mm2 AWG18 ある必要があります注意 TPS compact はその基部またはインレットではない他のフランジを介して固定することはできません警告システムは線間電圧を簡単に遮断できるように設置する必要があります注意 TPS compact はその基部またはインレットではない他のフランジを介して固定することはできません ...

Page 147: ...は ConFlatフランジで 120 C ISOフランジで80 Cを超えてはいけません警告ターボインレットフランジが真空チャンバーに接続されていないかまたは空になっていない場合はポンプシステムを使用しないでください警告加熱プロセス中はターボポンプまたはその付属品に触れないでください高温により火傷する可能性があります警告操作中のポンプは衝撃や激しい動きを避けてくださいベアリングが破損したり人への損傷や物が破損したりする可能性があります注意ポンプに放出するにはほこり粒子または湿気窒素などのない不活性ガスを使用してくださいベントポートの圧力は 2 バール未満大気圧以上でなければいけません警告爆発性有毒可燃性または放射性ガスの存在下でポンプシステムを使用しないでください ...

Page 148: ...ているトルクに耐える方法でポンプを接続しなくてはいけません特にクランプのデザイン材料ボルトボルトの固定トルクに注意してください TPS compact 実装のセクションで指定されたトルクに耐えられるようにポンプを接続する必要があります特にクランプの設計クランプとボルトの材質ボルトの固定トルクに注意してください高い耐荷重性クラスのクランプまたはボルトを使用してください 8 8 警告もしポンプがアジレントが推奨するものとは異なるフランジで真空チェンバー上に締め付けられた場合ローターが突然停止した際に TPS compact がねじ曲がるまたは引き裂かれる可能性があります異なるフランジタイプの組み合わせは禁止されていますアジレントは不適切な締め付けにより生じた全ての損害損傷にいかなる責任も負いません ...

Page 149: ...ct User Manual 149 ISO K フランジの取り付け ISO K フランジの接続には下記の図に示される通りクランプのモデル IC63250DCMZ または同等のもので2つのフランジを固定しますオプションとして保護スクリーンを使用できます图 28 必要な個数のクロウクランプを使用してください ISO 63 フランジ 4個 ISO 100 フランジ 4個 ISO 160 フランジ 4個 22 Nmのトルクでボルトを締めます ...

Page 150: ...ンを使用できます图 29 必要な個数のネジを使用してください CFF 6 16個 CFF 8 20個ユニットをくっつけ交互に各ネジを締めますフランジの面が合うまで引き続き締め付けを繰り返します 20 Nm のトルクでネジを締めます ConFlatフランジには当社は高強度のスチールボルトのみを使用することを推奨します組み立てと解体を円滑にするためオプションとしてFelpro C 100 高温潤滑剤をフランジから突き出ているネジ山とナットとフランジの間へ注入できます場合によっては下側ではボルトでのみ接続できます注意ターボ分子ポンプのケーシングにへこみが生じないようにナットとボルトを締めるときは注意してください ...

Page 151: ...ンの位置に動かすだけで十分です統合コントローラーは主電源の存在を自動的に認識しポンプを起動します警告 TwisTorr 305 FS ポンプの最初の起動はソフトスタートモードになりますこのモードの詳細については該当するセクションを参照してください TPS compactコンパクトベースのリアパネルに表示される青色のLED 状態は点滅する頻度でシステムの動作状態を示します点滅がないポンプは正常に回転していますゆっくりと点滅約400ミリ秒の間隔システムがランプ中ブレーキ中停止中またはインターロックを待機中の状態です速く点滅約200 ミリ秒の間隔エラー状態 TPS compact コンパクトのコントロールパネルの詳細説明については付録技術情報を参照してください ...

Page 152: ...初回コントロールユニットの起動のみ使用済みのコントロールユニットで新しいポンプを使用する場合には手動でソフトスタートモードを設定することを忘れないでくださいソフトスタートモードは標準の起動開始よりも時間がかかります使用者はポンプを停止する前にはポンプが最大速度になるまで待たなければなりません初回の開始後はポンプは再度コントロールユニットによるソフトスタートモードにはなりません注長期間の不稼働状態 60 日間またはそれ以上の後軸受に残存している潤滑油の適切な再分配を可能するには再度ソフトスタートモードでポンプを開始する必要があります警告ソフトスタートモダリティを有効にする一連の適切な使用方法を探すにはコントローラーの関連する説明マニュアルを参照してくださいリモートについて技術的情報の章コントローラー接続ウィンドウの意味搭載について ...

Page 153: ...動かすだけで十分です統合コントローラーはポンプシステムを即座に停止します警告システム上でいかなる動作を実行する前に電源供給を切り通気弁でポンプを通気しローターが完全に停止して待ちポンプの表面温度が 50 C 以下になるまで待ってください非常停止緊急時にTPS compactコンパクトをただちに停止するには電源ケーブルを主電源プラグから抜くかまたは外部のスイッチをオフの位置に動かす必要があります警告これは緊急時にのみ使用されるべきモードですこの停止モードの使用はポンプに障害及びまたは損害が生じる可能性がありますこの停止モードの不適切な使用は保証が無効となりえます ...

Page 154: ...なる作業も有資格者によって実施されなければなりませんもしシステムを廃棄する必要がある場合適切な破棄のために現地の条例に従うようご確認くださいローターの寿命ターボ分子ポンプローターの耐疲労性はポンプのサイズに強く依存します正しい値停止から全速力へのランプアップおよび停止への復帰のサイクル数については特定のポンプのマニュアルを参照してください予防措置として典型的なポンプの使用と安全制限を考慮に入れるとアジレントは17年間の使用後にメンテナンスのためポンプを返品することを推奨しますクリーニング TPS compactコンパクトの外面は中性洗剤のみ使用して掃除できます ...

Page 155: ...機器廃棄物指令にしたがって適用されますこの記号 EC 諸国内のみで有効はこの記号が適用される製品は通常の家庭ゴミとあわせて処分してはいけないことまた個別廃棄物回収システムに送付しなければならないことを表しますそのためエンドユーザーは親会社か小売業者かに関係なく当該機器のサプライヤに連絡の上契約上の販売条件の確認後回収および処分プロセスを開始することが求められます図 30 ロゴ WEEE 詳細は下記サイトを参照してください http www agilent com environment product index shtml ...

Page 156: ...compact User Manual サービスお客様が最新交換サービスまたは修理サービスが必要な場合は現地代理店もしくは下記まで直接ご連絡ください vpt customercare agilent com vpl customercare agilent com Request for Return の申請の完了にはサービス提供のためにお客様のポンプを Agilentへ返送する必要がありますこのマニュアルの最後に提供されています ...

Page 157: ...ent 164 Safety guideline for Turbomolecular Pumps 165 Transport Storage 166 Product description 167 Installation 168 Preparation for installation 168 Set up 169 TPS compact Mounting 170 Connection of the High Vacuum Flange 172 Installation of ISO K Flange 173 Installation of ConFlat Flange 174 Startup and Operation of the TPS compact 175 Soft Start 176 Stopping the TPS compact 177 Emergency stop 1...

Page 158: ...provisions relating to the higher level of maintenance personnel specifically trained for maintenance operations must not be carried out by the user For a correct installation and start stop please refer to Installation section Detailed information is supplied in the Technical Information section NOTE 1 This manual contains useful information so that all personnel using the TPS compact can operate...

Page 159: ...ing color CAUTION Caution messages are displayed before procedures which if not observed could cause damage to the equipment WARNING Warning messages draw the operator s attention to a specific procedure or practice which if not performed correctly could result in serious personal injury NOTE Notes are intended to call attention to important information and provide more detail regarding specific s...

Page 160: ...describe is also shown A triangular symbol indicates a warning The meanings of the symbols that may appear alongside warnings in the documentation are as follows Protective Ground Terminal Do Not Touch European Declaration of Conformity Generic hazard Dangerous voltages Hot surfaces Manufacturing Site Power OFF Power ON Restriction of Hazardous Substances certification UK CA Marking ...

Page 161: ...t When you see this symbol refer to the relevant operation or service manual for the correct procedure referred to by that warning label The following symbols appear on the instrument for your information Generic hazard CE certification CSA certification RoHS China certification Waste Electrical and Electronic Equipment UK CA Marking ...

Page 162: ...in order for the unit to work safely The product described in this manual is intended exclusively for the area of application specified in the instructions The manual also provides indications regarding the essential requirements for the application and operation of the product as well as the safety measures that can be adopted to guarantee regular operation Agilent Technologies does not provide a...

Page 163: ...ing of condensing vapors pumping of liquids pumping dust operation with improper high gas throughput operation with improper high fore vacuum pressures operation with selected gas modality different from the gas actually used operation with high levels of heat input operation in improper high magnetic fields venting with improper high venting rates use of the vacuum pump to generate pressure opera...

Page 164: ... installation WARNING Danger to health by hazardous substances during maintenance or installation Depending on the process peculiarity vacuum pumps components or operating fluids can be contaminated by toxic reactive or radioactive substances Wear adequate protective equipment during maintenance and repairs or in case of reinstallation WARNING Risk of injury through falling objects When transporti...

Page 165: ...s In case of malfunctioning of a mechanical part of the pump the rotational energy may be released to whatever the pump is fixed to see Installation of ConFlat Flange and Installation of ISO K Flange sections WARNING To avoid damage to equipment and to prevent injuries to operating personnel the installation instructions as given in this manual should be strictly followed WARNING When employing th...

Page 166: ... humidity range refer to the manuals of the single TPS compact component the turbomolecular pumps must be always soft started when received and operated for the first time by the customer the turbomolecular pumps must be always soft started after a period of 60 days of inactivity of the pump CAUTION If for any reason the shelf life time is exceeded the pump has to be returned to the factory Please...

Page 167: ...pump The system can pump any type of gas or gas compound It is not suitable for pumping liquids or solid particles The pumping action is obtained through a high speed turbine max 70000 rpm driven by a high performance electric motor It is free of contaminating agents and therefore is suitable for applications requiring a clean vacuum The TPS compact is equipped with auxiliary connectors to be cont...

Page 168: ...ase of storage for a long period of time or in case of shipping Do not dispose of the packing materials in an unauthorized manner The material is 100 recyclable and complies with EEC Directive 94 62 and subsequent amendments CAUTION In order to prevent outgassing problems do not use bare hands to handle components which will be exposed to vacuum Always use gloves or other appropriate protection Fi...

Page 169: ...e snow dust aggressive gases or in explosive environments or those with a high fire risk During operation the following environmental conditions must be complied with in order to avoid condensation maximum ambient pressure 2 bar above atmospheric pressure temperature refer to the manuals of the single TPS compact components relative humidity refer to the manuals of the single TPS compact component...

Page 170: ...ange The turbopump with ConFlat and ISO K inlet flange must be fixed to the vacuum chamber by means of the appropriate Agilent hardware For further details see the Installation of ConFlat and ISO K section Power supply cord The correct cable for electrical wiring is a three wires Ph N Earth cable The wire section has to be at least 0 75 mm2 AWG18 CAUTION The TPS compact cannot be fixed by means of...

Page 171: ... turbo inlet flange is not connected to the vacuum chamber or is not blanked WARNING Do not touch the turbopump or any of its accessories during the heating process The high temperatures may cause burns WARNING Avoid impacts or harsh movements of the pump when in operation The bearings may become damaged and damages to the persons or the things could be taken place CAUTION Use inert gas free from ...

Page 172: ...e specified in the TPS compact Mounting section Specifically pay attention to clamp design material of clamps and bolts and bolt fixing torque Use only high resistance class clamps or bolts 8 8 WARNING If the pump is fastened on a vacuum chamber with flanges different from those recommended by Agilent there is the chance of the TPS compact twisting or tearing off in case the rotor suddenly stops T...

Page 173: ...onnections fix the two flanges with the clamps model IC63250DCMZ or equivalent as shown in the following figure a protective screen can optionally be used Figure 33 Use the required number of claw clamps 4 for ISO 63 flange 4 for ISO 100 flange 4 for ISO 160 flange Tighten the bolts with a torque of 22 Nm ...

Page 174: ... Repeat the sequential tightening until the flange faces meet Tighten the screws with a torque of 20 Nm For ConFlat flange we recommend the usage of high strength steel bolts only To facilitate assembly and dismantling it is optional to apply Felpro C 100 high temperature lubricant to the screw threads protruding from the flange and between the nuts and flange In some cases the connections can be ...

Page 175: ... up the pump WARNING The initial startup of the pump TwisTorr 305 FS will be in SOFT START mode for detailed information on this mode refer to the dedicated section The blue LED STATUS located on the TPS compact base rear panel indicates with its flashing frequency the system operating conditions with no flashing the pump is normally rotating slowly flashing period of about 400 ms the system is in...

Page 176: ...ode The soft start mode will take a longer time compared to the standard start up the user must wait that the pump is completely up to speed before stopping the pump After the first start the pump won t be started in soft start mode again by the control unit NOTE After 60 days or more of inactivity in order to allow again the correct redistribution of the grease present in the bearings it is neces...

Page 177: ... supply vent the pump with the vent valve wait until the rotor is completely stopped and wait until the surface temperature of the pump is below 50 C Emergency stop To immediately stop the TPS compact in an emergency condition it is necessary to remove the supply cable from the mains plug or moving the external switch to OFF position WARNING This mode is to be used only in an emergency The use of ...

Page 178: ... are followed for appropriate disposal Rotor life The fatigue resistance of the turbomolecular pump rotor strongly depends on pump size Refer to the specific pump manual for correct value number of cycles of ramp up from stop to full speed and back to stop As a precautionary measure considering the typical usage of the pump and taking into account safety limits Agilent recommends to return the sys...

Page 179: ...s that the product it applies to must NOT be disposed of together with ordinary domestic or industrial waste but must be sent to a differentiated waste collection system The end user is therefore invited to contact the supplier of the device whether the Parent Company or a retailer to initiate the collection and disposal process after checking the contractual terms and conditions of sale Figure 35...

Page 180: ...eed an advanced exchange or repair service please contact local distributor or directly mail to vpt customercare agilent com vpl customercare agilent com Completion of the Request for Return form is required to return your pump to Agilent for service provided at the end of this manual ...

Page 181: ...200 P3 Vent 200 Gauge Connector 201 Pressure Display Module 202 J5 In Out 203 Signal Description 204 How to Connect the Open Collector Input of the Controller 209 How to Connect the Outputs of the Controller 212 J6 Serial 212 RS 232 RS 485 Communication Description 214 Communication Format 214 Serial Communication Descriptions 216 Window Protocol 217 Description 217 Communication Format 217 Commun...

Page 182: ...30V 50 60Hz X3580 64013 74 FS CFF 4 5 3 0m3 h Scroll 230V 50 60Hz X3580 64020 74 FS KF40 3 6 m3 h Scroll 100V 60Hz X3580 64021 74 FS CFF 2 75 3 6 m3 h Scroll 100V 60Hz X3580 64022 74 FS ISO63 3 6 m3 h Scroll 100V 60Hz X3580 64023 74 FS CFF 4 5 3 6 m3 h Scroll 100V 60Hz X3582 64000 305 FS ISO100 3 6 m3 h Scroll 115V 60Hz X3582 64001 305 FS CFF6 3 6 m3 h Scroll 115V 60Hz X3582 64002 305 FS ISO160 3 ...

Page 183: ...nual 183 Figure 36 Figure 37 TwisTorr 74 FS or TwisTorr 305 FS turbopump Pressure display indicator Integrated electronic pump controller Scroll pump Integrate air cooling System venting Main switch Main socket RS 232 I O interface Scroll pump exhaust ...

Page 184: ...centrifugal direction on one side and in centripetal direction on the other side These are made of aluminium alloy During normal operation the motor functions with a power feed at 54 Vac three phase at 1167 Hz 74 FS or 1010 Hz 305 FS To reduce losses during start up to a minimum the frequency increases according to a ramp with a higher initial voltage frequency ratio A thermistor sensor is mounted...

Page 185: ...2 Control name Description J5 IN OUT Input output connector to remote control the TPS compact J6 SERIAL Serial input output connector to control the TPS compact via an RS 232 or RS 485 connection STATUS Blue LED to show the system operating condition P3 VENT Connector to control the optional vent valve GAUGE Connector to control external active gauge ON OFF switch not shown in the picture It is lo...

Page 186: ...hich one of the nested scrolls orbits about the other creating moving zones of captured gas Gas enters the scroll set at the perimeter and is displaced and compressed toward the center hub where it is exhausted Figure 39 CAUTION Scroll Pump exhaust connection To avoid overheating the Scroll pump do not restrict the exhaust flow with long lengths of small diameter tubing ...

Page 187: ... Operating position Vertical Operating ambient temperature 5 C to 35 C Bakeout temperature 100 C at inlet flange max CF flange 75 C at inlet flange max ISO flange 120 C at inlet flange max CF flange 80 C at inlet flange max ISO flange Noise level 55 4 dB A at 1 meter 51 5 dB A at 1 meter Lubricant permanent lubrication Power supply Line type Input voltage and frequency Max input power 100 Vac 50 6...

Page 188: ...tegory II Pollution degree 2 Power cable 115 Vac US plug 3 meters long 230 Vac EU or UK plug 3 meters long Serial communication RS232 and RS485 interface Storage temperature 20 C to 60 C Weight kg lbs 20 1 44 3 16 7 36 8 NOTE When the TPS compact has been stored at a temperature less than 5 C wait until the TPS compact has reached the above mentioned temperature before switch the system on ...

Page 189: ...Technical Information Agilent TPS compact User Manual 189 TPS compact Outline The following figure shows the TPS compact outline Dimensions are in mm Dimensions millimeters inches Figure 40 74 FS 305 FS ...

Page 190: ...Technical Information 190 Agilent TPS compact User Manual TPS compact equipped with 305 FS Pumping speed for Nitrogen Figure 41 Graph of pumping speed vs inlet pressure at full speed 1010Hz driving freq ...

Page 191: ...ng speed vs inlet pressure TPS compact 305 FS 15l pumpdown Figure 43 Graph of pressure vs time w o soft start Measurement obtained using both capacitive and UHV gauges Shape of curve in the range 1 0E 3 mbar 1 0E 5 mbar is strongly affected by the type of gauge used and its accuracy ...

Page 192: ...aph of pressure vs time with a pumpdown volume of 1 litre Inlet screen installation Installing the inlet screen will reduce the pumping speed of heavy gases i e Argon Nitrogen of about 25 while for lighter gases i e Helium and Hydrogen the amount is of about 10 Figure 45 ...

Page 193: ...al 193 Figure 46 The inlet screens mod 9699300 9699309 9699302 and 9699303 prevent the blades of the pump from being damaged by debris greater than 0 7 mm diameter The inlet screen is fitted in the upper part of the pump as shown in the figure Figure 47 ...

Page 194: ...Technical Information 194 Agilent TPS compact User Manual The screen can be mounted on each pump The screen can be removed as shown in the following figure Figure 48 ...

Page 195: ...Technical Information Agilent TPS compact User Manual 195 High Vacuum Flange Connection Configurations Figure 49 Figure 50 ...

Page 196: ... to maintain a stable inlet pressure tends to increase When the absorbed power exceeds the threshold power ܲܶ ܲܯ ܱܰ then the integrated scroll pump is switched on and the separation electromagnetic valve is re opened So the ASDF is able to extend the scroll Tip seal life NOTE A slight variation in turbomolecular pump inlet pressure can be detected this variation is a normal response of the TPS com...

Page 197: ...Technical Information Agilent TPS compact User Manual 197 Figure 51 ...

Page 198: ...read in the top of the exhaust manifold This configuration can be used for dry applications When appreciable amounts of water solvents etc are being pumped remove the seal screw and replace it with the provided adapter and 1 8 NPT sintered filter plug WARNING Before install gas ballast adapter remove the power supply cable 1 Disconnect the TPS compact from electrical power 2 Unlock the scroll pump...

Page 199: ... of the gas ballast feature the noise may increase There is not a predefined amount of time to let the gas ballast open it depends on the amount of moisture trapped in the system CAUTION Do not exceed 2 8 Nm of torque when installing the adapter into the manifold For more details about gas ballast refer to the manuals of the single TPS compact components CAUTION Use the provided adapter and 1 8 NP...

Page 200: ...ns Input Power Connector The following figure shows the input power connector Figure 55 P3 Vent Figure 56 This is a dedicated 24 Vdc connector to control the optional vent valve available on request The vent valve can be driven by controller automatically or by serial line ...

Page 201: ...nge Gauge is a combined technologies gauge Inverted Magnetron plus Pirani Gauge FRG 700 measure from 5x10 9 mbar to atmosphere 3 8x10 9 Torr to atmosphere and its temperature range goes from 5 C to 55 C 41 131 F Pressure data is available on three independent reading channels 6 On board display data expressed in mbar Torr or Pa see Pressure Display Module picture 7 Serial communication line Win 22...

Page 202: ... User Manual Pressure gauge can be connected disconnected from the TPS compact during normal operation Figure 58 Gauge Connector Pressure Display Module Figure 59 Pressure display module Figure 60 FRG 700 gauge dimension x10 PRESSURE Pa mBar Torr ...

Page 203: ... signal characteristics and use Table 4 Pin N Signal name Input Output 1 START STOP IN 2 START STOP IN 3 ADAPTIVE SCROLL DRIVING DISABLE IN 4 ADAPTIVE SCROLL DRIVING DISABLE IN 5 SPEED SETTING IN 6 SPEED SETTING IN 7 SOFT START IN 8 SOFT START IN 9 24 Vdc Imax 30 mA OUT 10 NORMAL OUTPUT relay contact Vmax 125V Imax 200 mA OUT 11 PROGRAMMABLE SET POINT OUT 12 NORMAL OUTPUT relay contact OUT 13 FAUL...

Page 204: ...o disable Adaptive Scroll Driving function With the supplied mating connector the Adaptive Scroll Driving Disable input is connected to the 24Vdc pin and the Adaptive Scroll Driving Disable input is connected to GROUND pin in this condition the Adaptive Scroll Driving function is disabled SOFT START this input is used to provide a soft start to the pump in this condition the ramp up time could be ...

Page 205: ...ure 62 PROGRAMMABLE ANALOG SIGNAL this output signal is a voltage from 0 to 10 Vdc proportional to a reference quantity frequency or power or Temperature or Pressure set by the user The de fault setting is the frequency see the following example diagram Figure 63 ...

Page 206: ...ompact User Manual Figure 64 Figure 65 Output Power setting 0 10 20 30 40 50 60 70 80 90 100 0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 Voltage V Power W Output Temperature setting 0 10 20 30 40 50 60 70 80 90 100 0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 Voltage V Temperature C ...

Page 207: ...vel active that is the output is normally OFF and becomes ON when activated or low level active that is the output is normally ON and becomes OFF when activated Moreover if the reference quantity is the frequency or the power or pressure drawn it is possible to set the hysteresis in of the threshold value to avoid bouncing For example reference quantity frequency threshold 867 Hz hysteresis 2 acti...

Page 208: ...t checking for a programmable delay time The PROGRAMMABLE SET POINT signal has the following default settings reference quantity frequency thereshold 867 Hz hysteresis 2 activation type high level delay time 0 second NOTE The A Plus Software optional allows the operator to set all the programmable feature ...

Page 209: ...ow there are the typical connections of the open collector input of TPS compact to an external system Two cases are considered 1 the customer supplies the 24 Vdc 2 the customer does not supply the 24 Vdc Please note that on the connector a 24 Vdc 30 mA a GROUND signal and the open collector pin are available Figure 68 Case 1 ...

Page 210: ...Technical Information 210 Agilent TPS compact User Manual Figure 69 Case 2 with relay utilisation ...

Page 211: ...Technical Information Agilent TPS compact User Manual 211 Figure 70 Case 2 with transistor utilisation ...

Page 212: ...oil but any other device may be connected e g a LED a computer etc and the related simplified circuit of the controller The figure example refers to the programmable set point signal on pins 11 and 9 Figure 71 Typical output connection 1 J6 Serial Figure 72 This is a 9 pin D type serial input output connector to control via an RS 232 or RS 485 connection the TPS compact ...

Page 213: ...S compact User Manual 213 Table 5 P N Signal name 1 5 V OUT 2 TX RS232 3 RX RS232 4 Not used 5 GND 6 A RS485 7 Not used 8 B RS485 9 Not used A serial communication kit with a serial cable and the A Plus Software is available optional ...

Page 214: ...6 The communication protocol is the same see the structure below but only the RS 485 manages the address field Therefore to enable the RS 485 is necessary to select the type of communication as well as the device address by means of the software Communication Format 8 data bit no parity 1 stop bit baud rate 600 1200 2400 4800 9600 programmable Figure 73 RS 232 Connection ...

Page 215: ...Technical Information Agilent TPS compact User Manual 215 Figure 74 RS 485 Connection PC HOST 0 TPS compact 1 A A A 6 6 B B B 8 8 Gnd Gnd Gnd 5 5 120 W Ω 120 W Ω TPS compact 2 ...

Page 216: ...uction manual for its serial port connections NOTE Agilent cannot guarantee compliance with FCC regulations for radiated emissions unless all external wiring is shielded with the shield being terminated to the metal shround on the 0 subconnector The cable should be secured to the connector with screws Serial Communication Descriptions This unit can communicate by two different protocol protocol ol...

Page 217: ...col is a MASTER SLAVE type where Host MASTER Controller SLAVE The communication is performed in the following way 1 the host MASTER send a MESSAGE CRC to the controller SLAVE 2 the controller answer with an ANSWER CRC to the host The MESSAGE is a string with the following format STX ADDR WIN COM DATA ETX CRC Where NOTE When a data is indicated between two quotes it means that the indicated data is...

Page 218: ...to the data type as per the following table Table 6 Data Type Field Length Valid Characters Logic L 1 0 OFF 1 ON Numeric N 6 0 9 right justified with 0 Alphanumeric A 10 from blank to _ ASCII ETX End of transmission 0x03 CRC XOR of all characters subsequent to STX and including the ETX terminator The value is hexadecimal coded and indicated by two ASCII character The addressed SLAVE will respond w...

Page 219: ... command execution has been successfully completed NACK 1 byte 0x15 The command execution has been failed Unknown Window 1 byte 0x32 The specified window in the command is not a valid window Data Type Error 1 byte 0x33 The data type specified in the command Logic Numeric or Alphanumeric is not accorded with the specified Window Out of Range 1 byte 0x34 The value expressed during a write command is...

Page 220: ...er 02 80 30 30 30 31 31 03 42 33 STX ADDR WINDOW WR ON ETX CRC Source Controller Destination PC 02 80 06 03 38 35 STX ADDR ACK ETX CRC Command STOP Source PC Destination Controller 02 80 30 30 30 31 30 03 42 32 STX ADDR WINDOW WR OFF ETX CRC Source Controller Destination PC 02 80 06 03 38 35 STX ADDR ACK ETX CRC ...

Page 221: ...80 31 30 30 31 31 03 42 32 STX ADDR WINDOW WR ON ETX CRC Source Controller Destination PC 02 80 06 03 38 35 STX ADDR ACK ETX CRC Command SOFT START OFF Source PC Destination Controller 02 80 31 30 30 31 30 03 42 33 STX ADDR WINDOW WR OFF ETX CRC Source Controller Destination PC 02 80 06 03 38 35 STX ADDR ACK ETX CRC ...

Page 222: ...TX CRC Source Controller with address 3 in stop status Destination PC 02 83 32 30 35 30 30 30 30 30 30 03 38 37 STX ADDR WINDOW DATA STATUS ETX CRC Command REAL SERIAL TYPE Source PC Destination Controller with address 3 in 485 mode 02 83 35 30 34 30 03 38 31 STX ADDR WINDOW RD ETX CRC Source Controller Destination PC 02 83 35 30 34 30 31 03 42 30 STX ADDR WINDOW RD DATA ETX CRC ...

Page 223: ... Point valve expressed in Hz W or s default 867 103 R W N Set Point delay time between the pump start and the set point check seconds 0 to 999999 default 0 104 R W L Set Point signal activation type the signal can be high level active or low level active 0 high level active 1 low level active default 0 105 R W N Set point hysteresis in of value 0 to 100 default 2 107 R W L Active Stop write only i...

Page 224: ... N Gas load type Select the gas load to the pump Ø N2 1 Ar 162 R W A R1 Set Point Pressure Valve Valid if Win 101 4 Format X X E XX Where X 0 to 9 s or 163 R W N Pressure unit of measure 0 mBar 1 Pa 2 Torr 167 R W A Stop speed reading Activates deactivates the pump speed reading after Stop command 0 disable 1 enable 200 R N Pump current in mA dc 201 R N Pump voltage in Vdc 206 R N Error code Bit d...

Page 225: ...rial type select 0 RS 232 724 R W N Run Up time minutes 0 30 15 725 R W L Run Up time control On 1 1 Off 0 NOTE 1 Automatic means that when the controller stops the vent valve is opened with a delay defined by window n 126 when the controller starts the vent valve is immediately closed 2 On command means that the vent valve is opened or closed by means of window n 122 3 These commands remove the p...

Page 226: ...flange has risen to an unacceptably high level 500 mA or when the message TIP SEAL SERV appears on the TPS compact front side display The warning message appears after 5000 h of operation If your TPS compact exhibits humming or grinding noises from the scroll pump a major overhaul should be done by Agilent Vacuum Technologies The parts needed for Tip Seal replacement on the internal scroll pump ar...

Page 227: ...e Tip Seals remove the power supply cable The parts and tools required to replace Tip Seals are listed below Tip Seal Replacement Kit P N IDP3TS 4 mm Allen wrench Razor blade or side cutting pliers Compressed air optional Figure 76 Tip Seal replacement Figure A Figure 77 Tip Seal replacement Figure B ...

Page 228: ... A 1 Lift the TPS compact in order to access the Scroll pump site you ll hear a click noise as soon as the upper part of TPS compact is locked 2 Remove 4 M5 socket head bolts B 3 Remove the outboard housing axially off the frame C 4 Remove and discard the worn tip seals D and the main O ring 5 If compressed air is available blow any remaining seal debris off the scroll parts If seal debris is atta...

Page 229: ... off about 1 8 3 mm from the outer end of the groove 3 Install the correct tip seal into the groove of the outboard housing scroll as in step 3 4 Place the new main O ring into the groove in the frame 5 Ensure that the groove is clean 6 Ensure the sealing face of the outboard hous ing is clean Carefully replace the outboard housing by lining up the locating pins Ensure the tip seal has not fallen ...

Page 230: ... you have just to read the Win 358 Tip Seal Life Reset using A plus To test the Pumping System 1 Run the TPS compact for about 5 seconds Verify that the front fan is running If you hear loud noises from the Scroll pump this indicates that the tip seal or main O ring are possibly out of place 2 Disassemble and repair as necessary 3 The pump is now ready to return to service NOTE Newly installed tip...

Page 231: ...s Poor conductance to TPS compact Replumb with shorter and or larger diameter tubing Hammering noise Scroll pump overheated Check ventilation to TPS compact Check ambient temperature Debris in Scroll pump Flush the TPS compact Disassemble pump and inspect Internal Scroll Pump runs intermittently Motor thermal protector is cycling open and closed Allow the scroll motor to cool Identify the cause of...

Page 232: ...99193 Wheels accessory kit 9698233 9698233 9698233 9698233 Mains cable NEMA plug 3m 9699958 9699958 9699958 9699958 Mains cable EU plug 3m 9699957 9699957 9699957 9699957 Inlet screen 9699309 9699328 9699300 9699300 FRG 700 3 m cable 9699960 9699960 9699960 9699960 FRG 700 5 m cable 9699961 9699961 9699961 9699961 Serial cable 9699883 9699883 9699883 9699883 Tip seal replacement kit IDP3TS IDP3TS ...

Page 233: ...Mains cable NEMA plug 3m 9699958 9699958 9699958 9699958 Mains cable EU plug 3m 9699957 9699957 9699957 9699957 Inlet screen 9699302 9699302 9699304 9699304 FRG 700 3 m cable 9699960 9699960 9699960 9699960 FRG 700 5 m cable 9699961 9699961 9699961 9699961 Serial cable 9699883 9699883 9699883 9699883 Tip seal replacement kit IDP3TS IDP3TS IDP3TS IDP3TS Standard Gas Ballast kit IDP3GBKIT IDP3GBKIT ...

Page 234: ......

Page 235: ......

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Page 237: ......

Page 238: ......

Page 239: ...é Barueri Sao Paulo CEP 06460 040 Toll free 0800 728 1405 Singapore Agilent Technologies Singapore Pte Ltd 1 Yishun Avenue 7 Singapore 768923 Tel 65 6215 8045 Fax 65 6754 0574 Toll free 1 800 2762622 vps customerservice agilent com Mexico Agilent Technologies Concepcion Beistegui No 109 Col Del Valle C P 03100 Mexico D F Tel 52 5 523 9465 Fax 52 5 523 9472 China Agilent Technologies China Co Ltd N...

Page 240: ...Istruzioni per l uso Bedienungshandbuch Notice de mode d emploi Manual de istrucciones 用户手册ユーザーマニュアル Instruction for Use Technical information www agilent com Agilent Technologies Inc 2021 Edition I 00 11 21 87 901 010 01 87 901 010 01 87 901 010 01 ...

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