Agilent Technologies 8698961R002 User Manual Download Page 198

Page: 198 / 304

Návod k Použití

Použití

198/304

Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)

Použití

Tento odstavec popisuje podrobnosti základních praco

vních postupů.

Před použitím systému proveďte všechna elektrická a pneumatická
připojení.

Při zahřívání vakuové komory teplota přívodní příruby nesmí
překročit 80 °C.

NEBEZPEČÍ!

Turbomolekulární vývěvu nikdy nepoužívejte, nebude

li přívodní příruba

připojená k

vakuové komoře.

Během zahřívání se turbovývěvy ani jejího příslušenství nedotýkejte. Vysoká

teplota může způsobit popáleniny.

POZOR!

Během chodu chraňte vývěvu před nárazy, vibracemi a prudkými pohyby. Mohly

by se poškodit ložiska.

Pro odplynění vývěvy používejte vzduch nebo inertní plyn, který je zbaven prachu

a smítek. Tlak při odvětrávacím otvoru musí být menší než 2 bary (nad

atmosférickým tlakem). Pro čerpání agresivních plynů jsou tyto vývěvy vybaveny

speciálním otvorem, který umožňuje plynulý přítok inertního plynu (např. N

, Ar)

pro ochranu ložisek vývěvy (viz přílohu "Technical Information").

NEBEZPEČÍ!

Pokud používáte vývěvu pro čerpání toxických, hořlavých nebo radioaktivních

plynů, dodržujte prosím požadované postupy pro likvidaci každého plynu.

Vývěvu nepoužívejte v

přítomnosti výbušných plynů.

Summary of Contents for 8698961R002

Page 1: ...ioni Instruksjon manual Bedienungshandbuch Ohjek sikirja Notice de mode d emploi Felhaszn l i k zik nyv Manual de istrucciones Podrecznik instrukcji Manual de istru es N vod k pou it Bedrijfshandleidi...

Page 2: ...are furnished under a license and may be used or copied only in accordance with the terms of such license Restricted Rights Legend If software is for use in the performance of a U S Government prime...

Page 3: ...Turbo V 1K G Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 A 3 304 Turbo V 1K G...

Page 4: ...Turbo V 1K G 4 304 Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 A...

Page 5: ...zioni Generali 17 Immagazzinamento 19 Preparazione per l installazione 20 Installazione 21 Fissaggio della pompa 22 Uso24 Manutenzione 27 Smaltimento 28 2 Gebrauchsanleitung29 Sicherheitshinweise f r...

Page 6: ...Installation 48 Installation 50 Fixation de la Pompe51 Utilisation 53 Entretien 56 Mise au Rebut 57 4 Manual de istrucciones 59 Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares 60 Informaci n G...

Page 7: ...a o 83 Manuten o 86 Elimina o 87 6 Bedrijfshandleiding 89 Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen 90 Algemene Informatie 91 Opslag 93 Uitpakken 94 Installatie 96 Bevestiging Van De Pomp 97...

Page 8: ...sanvisning 119 S kerhetsanvisningar f r Molekyl ra Turbopumpar 120 Allm n Information 121 F rvaring 123 F rberedelser f r installationen 124 Installation 125 Fasts ttning av pump 126 Anv ndning 128 Un...

Page 9: ...pujen Turvaohjeet 148 Yleisi Tietoja 149 Varastointi 151 Valmistelut asennusta varten152 Asennus 153 Pumpun kiinnitys 154 K ytt 156 Huolto 159 H vitt minen 160 11 Felhaszn l i K zik nyv 161 Biztons gi...

Page 10: ...kularnych 176 Og lne Informacje 177 Magazynowanie 179 Przygotowanie do instalacji 180 Instalacja 181 Mocowanie pompy 182 U ytkowanie 184 Konserwacja 187 Przetworstwo odpadow 188 13 N vod k Pou it 189...

Page 11: ...l ciu 208 In tal cia 209 Upevnenie v vevy 210 Pou itie 212 dr ba 215 Likvid cia 216 15 Priro nik za Navodila 217 Varnostna navodila za Turbomolekularne rpalke 218 Splo ne Informacije 219 Shranjevanje...

Page 12: ...M005 Controller description 249 Technical Specification 250 Turbo V 1K G Outline 253 Interconnections controller model 9698978M005 255 RS 232 RS 485 Communication Description 268 Inlet Screen Installa...

Page 13: ...Contents Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 A 13 304 Pump used in presence of magnetic fields 297 Accessories and spare parts 298...

Page 14: ...Contents 14 304 Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 A...

Page 15: ...molecolari 16 Informazioni Generali17 Immagazzinamento 19 Preparazione per l installazione 20 Installazione 21 Fissaggio della pompa 22 Uso 24 Accensione ed Uso della Turbo V 1K G 25 Arresto della Tur...

Page 16: ...vata quantit di energia cinetica dovuta alla alta velocit di rotazione in unione alla massa specifica dei loro rotori Nel caso di un guasto del sistema ad esempio per un contatto tra rotore e statore...

Page 17: ...ce di pompare qualsiasi tipo di gas o di composto gassoso ma non adatto per il pompaggio di liquidi o di particelle solide L effetto pompante ottenuto tramite una turbina rotante ad elevata velocit 45...

Page 18: ...enza attirano l attenzione dell operatore su una procedura o una pratica specifica che se non eseguita in modo corretto potrebbe provocare gravi lesioni personali ATTENZIONE I messaggi di attenzione s...

Page 19: ...re superate le seguenti condizioni ambientali temperatura da 20 C a 70 C umidit relativa da 0 a 95 non condensante il cliente deve sempre avviare le pompe turbomolecolari nel modo Soft Start quando ri...

Page 20: ...a Turbo V 1K G e a non sottoporla ad urti o vibrazioni Non disperdere l imballo nell ambiente Il materiale completamente riciclabile e risponde alla direttiva CEE 85 399 per la tutela dell ambiente AT...

Page 21: ...ientali pressione massima 2 bar oltre la pressione atmosferica temperatura da 5 C a 35 C vedere grafico nell appendice Technical Information umidit relativa 0 95 non condensante ATTENZIONE Staccare l...

Page 22: ...a o dal sistema i quali potrebbero causare seri danni o la morte e o danni agli apparati adiacenti Fissare la Turbo V 1K G in posizione stabile montando la flangia di ingresso della turbopompa alla co...

Page 23: ...linea di alimentazione che soddisfi tale categoria La Turbo V 1K G ha dei connettori per gli ingressi uscite e per la comunicazione seriale che devono essere connessi ai circuiti esterni in modo che...

Page 24: ...a turbopompa e i suoi eventuali accessori durante le operazioni di riscaldamento L elevata temperatura pu causare lesioni alle persone ATTENZIONE Evitare urti oscillazioni o bruschi spostamenti della...

Page 25: ...ente la presenza dei segnali di interlock e di avvio ed avvia la pompa La prima partenza della pompa avviene nel modo Soft Start che al termine del ciclo di avvio si disabilita automaticamente per cui...

Page 26: ...tabella delle parti ordinabili dotato di una spina approvata a livello internazionale Utilizzare questo cavo e spina insieme ad una presa adeguatamente connessa a terra per evitare scosse elettriche e...

Page 27: ...sia inferiore a 50 C In caso di guasto possibile usufruire del servizio di riparazione Agilent o del Agilent advanced exchange service che permette di ottenere un sistema rigenerato in sostituzione d...

Page 28: ...che il prodotto sul quale applicato NON deve essere smaltito insieme ai comuni rifiuti domestici o industriali ma deve essere avviato ad un sistema di raccolta differenziata Si invita pertanto l utent...

Page 29: ...r Turbomolekularpumpen 30 Allgemeine Informationen31 Lagerung 33 Vor Der Installation 34 Installation 35 Befestigung Der Pumpe 36 Gebrauch 38 Einschaltung und Gebrauch der Turbo V 1K G 39 Stoppen der...

Page 30: ...hen Rotationsgeschwindigkeit in Verbindung mit dem spezifischen Gewicht ihrer Rotoren ber eine gro e Menge kinetischer Energie Im Falle eines Systemdefekts z B durch einen Kontakt zwischen Rotor und S...

Page 31: ...tigen Gemischen ist jedoch nicht f r die F rderung von Fl ssigstoffen oder Festpartikeln geeignet Die Pumpwirkung wird durch eine hochtourige Turbine max 45660 1 min erreicht die von einem Hochleistun...

Page 32: ...vorgehoben WARNUNG Die Warnhinweise deuten auf ein Verfahren oder ein besonderes Verhalten hin das bei Nichtbeachtung der Vorsichtsmassnahmen schwere pers nliche Sch den verursachen k nnte VORSICHT Di...

Page 33: ...nicht berschritten werden Temperatur von 20 C bis 70 C Relative Feuchtigkeit von 0 bis 95 nicht kondensierend Der Kunde hat die Turbomolekularpumpen nach dem Empfang bei Erstinbetriebnahme stets im M...

Page 34: ...rationen ausgesetzt werden darf Das Verpackungsmaterial ist vorschriftsgem zu entsorgen Es ist vollst ndig recyclebar und entspricht der Richtlinie 85 399 EWG f r Umweltschutz WARNUNG Um Entgasungen z...

Page 35: ...ngungen eingehalten werden Maximaler Druck 2 bar ber dem atmosph rischen Druck Temperatur von 5 C bis 35 C siehe Diagramm im Anhang Technical Information Relative Luftfeuchtigkeit 0 95 nicht kondensie...

Page 36: ...Sch den oder den Tod und oder Sch den an benachbarten Ger ten zur Folge haben k nnten Die Turbo V 1K G in einer stabilen Position befestigen Den Eintrittsflansch der Turbopumpe am Gegenflansch des Sy...

Page 37: ...eschlossen werden die dieser Kategorie entspricht Die Turbo V 1K G hat Verbinder f r den Ein und Ausgang und die Schnittstellenkommunikation die an die Au enkreise angeschlossen werden m ssen soda kei...

Page 38: ...eht Verbrennungsgefahr VORSICHT W hrend des Betriebs sind Sto und Vibrationseinwirkungen sowie Ruckbewegungen an der Turbopumpe zu vermeiden da die Lager besch digt werden k nnten F r die Bel ftung de...

Page 39: ...d startet die Pumpe Die Erstinbetriebnahme der Pumpe erfolgt im Modus Soft Start der sich nach dem Anlaufzyklus selbstt tig abschaltet Daher erfolgen alle nachfolgenden Pumpenanl ufe ohne den Modus So...

Page 40: ...estellteile versorgt werden das mit einem auf internationaler Ebene genehmigten Stecker ausgestattet ist Verwenden Sie dieses Kabel und den Stecker zusammen mit einer entsprechend geerdeten Steckdose...

Page 41: ...use unter 50 C abgesunken ist Bei Defekten kann der Agilent Service oder der Agilent advanced exchange service in Anspruch genommen werden der ein general berholtes System als Ersatz f r das defekte S...

Page 42: ...ol nur in den EU L ndern g ltig zeigt an dass das betreffende Produkt nicht zusammen mit Haushaltsm ll entsorgt werden darf sondern einem speziellen Sammelsystem zugef hrt werden muss Der Endabnehmer...

Page 43: ...ires 44 Indications G n rales 45 Stockage 47 Pr paration pour l Installation 48 Installation 50 Fixation de la Pompe 51 Utilisation 53 Mise en marche et utilisation de la Turbo V 1K G 54 Arr t de la T...

Page 44: ...t une nergie cin tique lev e due la grande vitesse de rotation associ e la masse sp cifique de leurs rotors En cas de panne du syst me par exemple cause d un contact entre rotor et stator ou d une rup...

Page 45: ...st en mesure de pomper tous les types de gaz et de compos s gazeux mais elle n est pas adapt e au pompage de liquides ou de particules solides L effet de pompage est obtenu gr ce une turbine tournant...

Page 46: ...t l attention de l op rateur sur une proc dure ou une manoeuvre sp ciale qui si elle n est pas effectu e correctement risque de provoquer de graves l sions ATTENTION Les messages d attention apparaiss...

Page 47: ...imp rativement avoir lieu dans les conditions ambiantes suivantes temp rature de 20 C 70 C humidit relative de 0 95 non condensante A la premi re utilisation les pompes turbomol culaires doivent touj...

Page 48: ...K G et ne pas l exposer des choces ou des vibrations Ne pas abandonner l emballage dans la nature Le mat riel est enti rement recyclable et conforme la directive CEE 85 399 en mati re de protection de...

Page 49: ...Mode d emploi Pr paration pour l Installation 3 Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 A 49 304...

Page 50: ...environnementales suivantes pression maxi 2 bar au del de la pression atmosph rique temp rature de 5 C 35 C Cf graphique dans Technical Information humidit relative 0 95 non condensante ATTENTION Ne...

Page 51: ...ssures graves voire la mort et ou endommager s rieusement les quipements environnants Fixer la Turbo V 1K G de fa on stable en assurant la collerette d entr e de la turbopompe la contre collerette du...

Page 52: ...limentation compatible avec cette cat gorie La Turbo V 1K G dispose de connecteurs pour les entr es sorties et pour la communication en s rie qui doivent tre branch s aux circuits ext rieurs de fa on...

Page 53: ...bopompe ainsi que ses accessoires ventuels pendant les op rations de chauffage La temp rature lev e peut tre l origine de l sions graves ATTENTION Lorsque la turbopompe fonctionne viter tout choc osci...

Page 54: ...t automatiquement la pr sence de signaux d interlock et de d marrage et il actionne la pompe La premi re mise en marche de la pompe se fait en mode Soft Start Au terme du cycle de d marrage ce mode s...

Page 55: ...parties qui peuvent tre ordonn es dot d une fiche approuv e niveau international Utiliser ce c ble et cette fiche avec une prise connect e d une mani re ad quate terre pour viter des d charges lectriq...

Page 56: ...C En cas de panne il est possible de b n ficier du service r parations Agilent ou du Agilent advanced exchange service qui permet d obtenir un syst me r g n r en remplacement du syst me endommag NOTE...

Page 57: ...e produit sur lequel il est appliqu NE doit PAS tre mis au rebut avec les ordures m nag res ou les d chets industriels ordinaires mais passer par un syst me de collecte s lective Apr s avoir v rifi le...

Page 58: ...3 Mode d emploi Mise au Rebut 58 304 Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 A...

Page 59: ...as Turbomoleculares 60 Informaci n General 61 Almacenamiento63 Preparaci n Para La Instalaci n 64 Instalaci n 65 Fijaci n de la bomba 66 Uso 68 Encendido y uso de Turbo V 1K G69 Parada de Turbo V 1K G...

Page 60: ...una elevada cantidad de energ a cin tica debido a la alta velocidad de rotaci n en combinaci n a la masa espec fica de sus rotores En el caso de un da o del sistema por ejemplo por un contacto entre e...

Page 61: ...ede bombear cualquier tipo de gas o de composici n gaseosa pero no es adecuada para bombear l quidos o part culas s lidas El efecto de bombeo se obtiene mediante una turbina rotativa de alta velocidad...

Page 62: ...ue un determinado procedimiento o una operaci n espec fica puede ocasionar graves lesiones personales sino se realizan de forma correcta equipo ATENCI N Los mensajes de atenci n aparecen cuando se est...

Page 63: ...temperatura entre 20 C y 70 C humedad relativa entre 0 y 95 no condensante el cliente deber activar siempre las bombas turbomoleculares en modalidad Soft Start al recibirlas y ponerlas en funcionamien...

Page 64: ...y de no someterla a golpes o vibraciones No abandonar el embalaje en el medio ambiente El material es completamente reciclable y cumple con la directiva CEE 85 399 para la preservaci n del medio ambi...

Page 65: ...ones ambientales siguientes presi n m xima 2 bares por encima de la presi n atmosf rica temperatura de 5 C a 35 C v ase gr fico en el anexo Technical Information humedad relativa 0 95 no condensadora...

Page 66: ...la bomba o por el sistema con consiguiente grave riesgo de lesiones o muerte y o da os a los aparatos adyacentes Fijar Turbo V 1K G en posici n estable montando la brida de entrada de la turbo bomba...

Page 67: ...alimentaci n adecuada para dicha categor a Turbo V 1K G tiene conectores para las entradas salidas y para la comunicaci n serial que deben ser conectados a los circuitos externos de manera que ninguna...

Page 68: ...provocar lesiones a las personas ATENCI N Ev tense golpes oscilaciones o bruscos desplazamientos de la turbobomba durante su funcionamiento Los cojinetes podr an da arse Para el env o de aire de la b...

Page 69: ...ue al final del ciclo de puesta en marcha se deshabilita autom ticamente por lo tanto cuando la bomba se ponga en marcha posteriormente se har sin Soft Start Para volver a utilizar una puesta en march...

Page 70: ...isto de un enchufe aprobado internacionalmente Utilizar el cable y el enchufe junto con un tomacorriente adecuadamente conectado a tierra para evitar descargas el ctricas y cumplir con los requerimien...

Page 71: ...icial de la bomba sea inferior a 50 C En caso de aver a se podr utilizar el servicio de reparaci n Agilent o el Agilent advanced exchange service que permite obtener un sistema regenerado para sustitu...

Page 72: ...plicado NO debe ser eliminado junto con los residuos comunes sean stos dom sticos o industriales y que por el contrario deber ser sometido a un procedimiento de recogida diferenciada Por lo tanto se i...

Page 73: ...Bombas Turbomoleculares 74 Informa es Gerais 75 Armazenagem 77 Prepara o para a instala o 78 Instala o 80 Fixa o da bomba 81 Utiliza o 83 Acendimento e Utiliza o da Turbo V 1K G 84 Paragem da Turbo V...

Page 74: ...e Instru es t m uma alta quantidade de energia cin tica devida alta velocidade de rota o unida massa espec fica de seus rotores Em caso de avaria do sistema causada por exemplo por um contacto entre o...

Page 75: ...osto gasoso mas n o adequada para bombear l quidos ou part culas s lidas O efeito da bomba obtido atrav s de uma turbina rotativa de alta velocidade 45660 r p m m x movida por um motor el ctrico trif...

Page 76: ...go chamam a aten o do operador sobre um procedimento ou um processo espec fico que se n o executado em modo correto poderia provocar graves les es pessoais CUIDADO As mensagens de aten o s o visualiza...

Page 77: ...ambientais devem ser as seguintes temperatura de 20 C a 70 C umidade relativa de 0 a 95 n o condensante ao acionar as bombas turbomoleculares pela primeira vez o cliente deve ativ las sempre em modal...

Page 78: ...ir a Turbo V 1K G e para n o submet la a choques ou vibra es N o depositar a embalagem no meio ambiente O material completamente recicl vel e em conformidade com a norma CEE 85 399 para a protec o do...

Page 79: ...Manual de Istru es Prepara o para a instala o 5 Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 A 79 304...

Page 80: ...mbientais press o m xima 2 bar al m da press o atmosf rica temperatura de 5 C a 35 C consultar a planilha no ap ndice Technical Information humidade relativa 0 95 n o condensante CUIDADO Remover a eti...

Page 81: ...que podem provocar les es graves ou a morte e ou danificar os equipamentos adjacentes Colocar a Turbo V 1K G em posi o est vel fixando o flange de entrada da turbobomba ao contra flange do sistema com...

Page 82: ...nha de alimenta o apropriada para esta categoria A Turbo V 1K G tem dois conectores para as entradas sa das e para a comunica o de s rie que devem ser ligados aos circuitos externos de modo a n o perm...

Page 83: ...mperatura pode causar les es s pessoas CUIDADO Evitar colis es oscila es ou deslocamentos bruscos da turbobomba quando est a funcionar Os rolamentos poderiam sofrer danos Para a sa da de ar da bomba u...

Page 84: ...t Star que no fim do ciclo de arranque se desactiva automaticamente portanto todos os sucessivos arranques da bomba n o ser o em Soft Start Para poder arrancar a bomba em Soft Start ser preciso reacti...

Page 85: ...s partes que podem ser encomendadas equipado de uma tomada aprovada a n vel internacional Utilize este cabo e tomada juntos com uma tomada adequadamente conectada a terra para evitar choques el ctrico...

Page 86: ...seja inferior a 50 C Em caso de defeito poss vel usufruir do servi o de assist ncia Agilent ou do Agilent advanced exchange service que permite obter um sistema regenerado que substitua a bomba com d...

Page 87: ...produto no qual est aplicado N O deve ser eliminado juntamente com os res duos dom sticos ou industriais comuns mas deve ser dirigido a um sistema de recolha diferenciada Portanto convidamos o utiliza...

Page 88: ...5 Manual de Istru es Elimina o 88 304 Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 A...

Page 89: ...r Turbomoleculaire pompen90 Algemene Informatie 91 Opslag 93 Uitpakken 94 Installatie 96 Bevestiging Van De Pomp97 Gebruik 99 Inschakeling en gebruik van de Turbo V 1K G 100 Afzetten van de Turbo V 1K...

Page 90: ...ebben een grote hoeveelheid kinetische energie door de hoge rotatiesnelheid samen met de specifieke massa van hun rotoren In geval van een defect van het systeem bijvoorbeeld door een contact tussen d...

Page 91: ...ype gas of gasverbinding te pompen maar is niet geschikt voor het pompen van vloeistoffen of vaste deeltjes Het pompeffect wordt verkregen door een zeer snel draaiende turbine max 45660 toeren min die...

Page 92: ...andacht van de operator tijdens een procedure of een specifieke handeling die zodra deze niet op de juiste manier uitgevoerd wordt kan leiden tot ernstig persoonlijk letsel VOORZICHTIG De waarschuwing...

Page 93: ...ldaan temperatuur van 20 C tot 70 C relatieve vochtigheid van 0 tot 95 niet condenserend de klant moet de turbomoleculaire pompen altijd met de Soft Start opstarten wanneer ze ontvangen worden en voor...

Page 94: ...gt Laat de verpakking niet ergens buiten achter Het verpakkingsmateriaal is volledig recyclebaar en voldoet aan de EEG milieurichtlijn 85 399 VOORZICHTIG Om ontgassingsproblemen te voorkomen mogen de...

Page 95: ...Bedrijfshandleiding Uitpakken 6 Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 A 95 304...

Page 96: ...es aanwezig zijn max druk 2 bar boven de atmosferische druk temperatuur van 5 C tot 35 C zie grafiek in de bijlage Technical Information relatieve vochtigheid 0 95 niet condenserend VOORZICHTIG Alleen...

Page 97: ...nstig letsel de dood en of schade aan omliggende apparaten kunnen veroorzaken Bevestig de Turbo V 1K G in een stabiele positie door de inlaatflens van de turbopomp op de contraflens van het systeem te...

Page 98: ...an op een voedingslijn die aan deze categorie voldoet De Turbo V 1K G bezit connectoren voor de ingangen uitgangen en voor de seri le communicatie die aangesloten moeten worden op de externe circuits...

Page 99: ...roorzaken VOORZICHTIG Vermijd schokken trillingen of bruuske verplaatsingen van de turbopomp wanneer deze in werking is De lagers kunnen anders beschadigd raken Gebruik voor de luchttoevoer naar de po...

Page 100: ...start van de pomp geschiedt op de wijze Soft Start die aan het einde van de startcyclus automatisch ontmachtigd wordt Vandaar dat alle volgende starts niet op de wijze Soft Start geschieden Om opnieu...

Page 101: ...tabel met de bestanddelen die u kunt bestellen voorzien van een stekker met internationale goedkeuring Gebruik de kabel en de stekker samen met een goedgeaard stopcontact om elektrische schokken te v...

Page 102: ...p onder een temperatuur van 50 C is gezakt In geval van storing is het mogelijk om de reparatiedienst van Agilent of de Agilent advanced exchange service in te schakelen zo krijgt men een ruilpomp ter...

Page 103: ...t waarop het is aangebracht NIET mag worden afgevoerd samen met mormaal huisvuil of industrieel afval maar gescheiden moet worden ingezameld De eindgebruiker wordt dus verzocht contact op te nemen met...

Page 104: ...6 Bedrijfshandleiding Afvalverwerking 104 304 Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 A...

Page 105: ...urbopumper 106 Generel Information 107 Opbevaring 109 Forberedelse f r installation 110 Installation 111 Fastg relse af pumpe112 Anvendelse 114 Start og anvendelse af Turbo V 1K G 115 Stop af Turbo V...

Page 106: ...en stor kinetisk energi der skyldes den h je omdrejningshastighed kombineret med deres rotorers specifikke v gt Hvis der er en fejl i systemet for eksempel p grund af en kontakt mellem rotor og stato...

Page 107: ...hvilken som helst form for gas eller gaslignende luftarter men den kan ikke anvendes til pumpning af v ske eller af faste partikler Pumpningen sker ved hj lp af en hurtigroterende turbine 45660 omdr...

Page 108: ...meldingerne g r operat ren opm rksom p at hvis en s rlig procedure eller fremgangsm de ikke f lges eller udf res forkert opst r der fare for alvorlige l sioner FORSIGTIG Beskederne Giv agt vises f r p...

Page 109: ...og opbevaring af pumperne temperatur fra 20 C til 70 C relativ fugtighed fra 0 til 95 ikke kondenserende Kunden skal altid starte de turbomolekyl re pumper ved hj lp af Soft Start funktionen ved modta...

Page 110: ...tabes eller uds ttes for st d eller vibrationer Smid ikke emballagen ud Materialet kan genbruges 100 og opfylder EU direktiv 85 399 om milj beskyttelse FORSIGTIG Komponenter der skal uds ttes for vak...

Page 111: ...orholdene g lder ved drift max tryk 2 bar over det atmosf riske tryk temperatur fra 5 C til 35 C se illustrationen i bilaget Technical Information relativ luftfugtighed 0 95 ikke kondenserende FORSIGT...

Page 112: ...kan medf re alvorlige kv stelser eller d dsfald og eller materiel beskadigelse af apparaterne i n rheden Mont r Turbo V 1K G i en stabil position ved at montere turbopumpens indgangsflange p systemets...

Page 113: ...kravene i denne klasse Turbo V 1K G er forsynet med konnektorer til ind udgange og til seriel kommunikation Konnektorerne skal tilsluttes de eksterne kredsl b s ledes at det ikke er muligt at opn adga...

Page 114: ...je temperatur kan resultere i skade p personer FORSIGTIG Undg sammenst d vibrationer eller bratte bev gelser i forbindelse med brug af turbopumpen Der er risiko for beskadigelse af lejerne Pumpen ska...

Page 115: ...rste gang ved hj lp af SOFT START metoden N r startprocessen er afsluttet frakobles denne funktion automatisk med hensyn til alle efterf lgende aktiveringer af pumpen der vil ske uden SOFT START metod...

Page 116: ...estilbare stykker f dekablet skal v re udstyret med et stik som skal v re godkendt p international plan Benyt dette kabel og stik sammen med en stikkontakt som p passende m de er forbundet til jorden...

Page 117: ...et til rotoren er standset og til temperaturen p pumpens overflade er under 50 C I tilf lde af skader p systemet kontaktes et Agilent reparationsv rksted eller Agilent advanced exchange service der ud...

Page 118: ...idder p IKKE m bortskaffes sammen med affald fra private husholdninger eller industriel affald men skal indleveres p en godkendt affaldsstation Vi opfordrer derfor slutbrugeren til at kontakte leveran...

Page 119: ...rbopumpar 120 Allm n Information 121 F rvaring 123 F rberedelser f r installationen 124 Installation 125 Fasts ttning av pump126 Anv ndning 128 Start och anv ndning av Turbo V 1K G129 Att st nga av Tu...

Page 120: ...g kinetisk energi beroende p den h ga rotationshastigheten och rotorernas specifika massa I det fall fel skulle uppst i systemet t ex p grund av kontakt mellan rotor och stator eller om rotorn skulle...

Page 121: ...das f r pumpning av alla typer av gas eller gasf reningar Dock l mpar sig inte pumpen f r pumpning av v tskor eller fasta partiklar Pumpningen stadkoms med hj lp av en h gvarvig turbin max 45660 varv...

Page 122: ...RNING Meddelanden om fara f r operat rens upm rksamhet p en viss procedur eller tg rd som om den inte utf rs p r tt s tt kan orsaka allvarliga personskador OBSERVER Varningsmeddelanden visas f re viss...

Page 123: ...givningsf rh llanden respekteras Temperaturomr de 20 C till 70 C Relativ fuktighet 0 till 95 utan kondens Kunden ska alltid mjukstarta de turbomolekyl ra pumparna n r de mottas och s tts i drift f r f...

Page 124: ...ts tts f r st tar eller vibrationer vid uppackningen Kasta inte packmaterialet i soporna Materialet r tervinningsbart till 100 och uppfyller EU direktiv 85 399 om milj skydd OBSERVER Komponenter som s...

Page 125: ...ivningsf rh llanden g ller vid drift maximitryck 2 bar ver atmosf riskt tryck temperatur fr n 5 C till 35 C se bild i Technical Information relativ luftfuktighet 0 95 utan kondens OBSERVER Ta bort tej...

Page 126: ...ystemet och f rorsaka allvarliga skador eller d dsfall och eller skador p apparater i n rheten F st Turbo V 1K G i ett stabilt l ge genom att ansluta turbopumpens intagsfl ns till systemets fl ns som...

Page 127: ...till en elledning som uppfyller kraven f r denna klass Turbo V 1K G r utrustad med kontaktdon f r ing ngarna utg ngarna och f r den seriella kommunikationen som ska anslutas till de externa kretsarna...

Page 128: ...att undvika br nnskador OBSERVER Undvik sammanst tningar sv ngningar eller pl tsliga f rflyttningar av turbopumpen n r den r ig ng Lagren kan bli skadade Pumpen ska f rses med luft eller med delgaser...

Page 129: ...h startar pumpen Pumpens f rsta start sker i Mjukstart l get som i slutet av inledningscykeln sl s av automatiskt D refter sker pumpens inledningar utan funktionen Mjukstart F r att teraktivera Mjukst...

Page 130: ...n str mkabel med 3 stycken ledare se tabellen ver ordinerbara delar tillsammans med kontakt godk nd p internationell niv Anv nd sladden och kontakten tillsammans med en jordad anslutning f r att undvi...

Page 131: ...n tills rotorn stannat samt tills pumpens yttemperatur r l gre n 50 C Om pumpen havererar kontakta Agilent reparationsverkstad eller Agilent utbytesservice som kan ers tta systemet med ett renoverat s...

Page 132: ...bolen har applicerats INTE f r skaffas bort tillsammans med vanliga hush lls eller industriavfall men att d remot ett differentierat uppsamlingssystem m ste uppr ttas Vi rekommenderar d rf r att sluta...

Page 133: ...Turbomolekyl r Pumper 134 Generell Informasjon 135 Lagring 137 Klargj re til installasjon 138 Installasjon 139 Festing av pumpen 140 Bruk 142 Starte og bruke Turbo V 1K G 143 Stoppe Turbo V 1K G 144 N...

Page 134: ...Bruksanvisningen har et h yt kinetisk energiniv som skyldes den h ye roteringshastigheten i tillegg til den spesifikke massen til pumpenes rotor I tilfelle feil ved systemet for eksempel p grunn av e...

Page 135: ...kul r pumpe for bruk i h y eller ultrah ye vakuum Pumpen kan pumpe nesten alle typer gass eller gassforening Det er ikke egnet for pumpe v sker eller faste partikler Pumpingen oppn s med en h yhastigh...

Page 136: ...L Faretegnene varsler operat ren om at en spesiell man ver eller operasjon kan for rsake alvorlige personskader dersom den de ikke utf res korrekt FORSIKTIG Advarslene vises f r man starter en man ver...

Page 137: ...e f lgende milj forhold overstiges Temperatur fra 20 C til 70 C Relativ fuktighet fra 0 til 95 uten kondensering Kunden m alltid soft starte de turbomolekyl re pumpene n r de mottas og startes opp f r...

Page 138: ...pes ned eller utsettes for noen form for st t Emballasjen m ikke kastes p en ulovlig m te Alle materialer er 100 resirkulerbare og er i samsvar med EU direktiv 85 399 om milj beskyttelse FORSIKTIG For...

Page 139: ...der bruk m f lgende forhold respekteres maksimalt trykk 2 bar over atmosf risk trykk temperatur fra 5 C til 35 C se diagram i tillegget Technical Information relativ fuktighet 0 95 uten kondens FORSIK...

Page 140: ...er fra systemet Dette kan f re til alvorlige skader eller d d og eller skader p annet utstyr i n rheten Fest Turbo V 1K G i en stabil posisjon monter turbopumpens innl psflens til systemets motflens m...

Page 141: ...l en hovedledning som tilfredsstiller kravene for denne klassen Turbo V 1K G er utstyrt med koplingsstykker for inn utgangene og seriekommunikasjonen som m koples til de ytre str mkretsene slik at ing...

Page 142: ...turene kan f re til brannskader FORSIKTIG Unng st t svingninger eller plutselige bevegelser av turbinpumpen n r den er i funksjon Lagrene kan skades Bruk st v og partikkelfri luft eller inaktiv gass v...

Page 143: ...arter pumpen F rste igangsetting av pumpen skjer med MYK START som etter denne f rste igangsettingssyklusen deaktiveres slik at etterf lgende igangsettinger skjer uten MYK START For oppn en MYK START...

Page 144: ...n bestilles og utstyrt med et st psel som er internasjonalt godkjent for brukerens sikkerhet Bruk denne kabelen og st pselet sammen med en egnet jordet kontakt for unng elektrisk st t og for overholde...

Page 145: ...erflatetemperatur er lavere enn 50 C Dersom systemet stanser m du ta kontakt med Agilents reparasjonservice eller med Agilents avanserte bytteservice som kan tilby overhalte system til erstatning for...

Page 146: ...et europeiske fellesselskap viser at produktet som det sitter p IKKE m behandles som vanlig hus industriavfall men m legges i kildesortering Derfor oppfordrer man den sluttelige brukeren av anordninge...

Page 147: ...pujen Turvaohjeet 148 Yleisi Tietoja 149 Varastointi 151 Valmistelut asennusta varten 152 Asennus 153 Pumpun kiinnitys 154 K ytt 156 Turbo V 1K Gin k ynnistys ja k ytt 157 Turbo V 1K Gin pys ytt minen...

Page 148: ...m r kineettist energiaa joka aiheutuu korkeasta py rimisnopeudesta yhdistettyn pumppujen roottorien massaan J rjestelm n vikatilassa esimerkiksi roottorin ja staattorin koskettaessa toisiaan tai root...

Page 149: ...isi kaasuja tai kaasukoostumuksia Se ei sovellu nesteiden tai kiinteiden hiukkasten pumppaamiseen Pumppaus saadaan aikaan korkealla nopeudella 45660 kierrosta min max py riv n turbiinin avulla jota k...

Page 150: ...vat koneenhoitajaa kiinnitt m n huomiota johonkin menettelytapaan tai erityistoimintoon jotka suoritettuina ohjeiden vastaisesti voivat aiheuttaa vakavia henkil kohtaisia vaurioita HUOMIO Varoitusvies...

Page 151: ...n seuraavia ymp r ivi olosuhteita ei tule ylitt l mp tila 20 C 70 C suhteellinen kosteus 0 95 ei tiivist v Asiakkaan tulee aina k ynnist turbomolekyylinen pumppu soft start tavalla vastaanottaessaan p...

Page 152: ...putoamista tai siihen kohdistuvia iskuja tai t rin it Pakkausta ei tule j tt ymp rist n Pakkausmateriaali voidaan kierr tt kokonaisuudessaan ja se vastaa EY direktiivi 85 399 ymp rist n suojelusta HU...

Page 153: ...udatettava seuraavia ymp rist koskevia ehtoja maksimipaine 2 baaria yli atmosf risen paineen l mp tila 5 C 35 C ks Technical Information liitteen kaaviota suhteellinen kosteus 0 95 ei tiivist v HUOMIO...

Page 154: ...aiheuttaa vakavia vahinkoja tai kuoleman ja tai l hell olevien laitteiden vaurioita Kiinnitt k Turbo V 1K G vakaaseen asentoon asentamalla turbopumpun sis ntulolaippa j rjestelm n vastalaippaan liito...

Page 155: ...hk verkkoon joka t ytt t m n luokan vaatimukset Turbo V 1K G laitteissa on liittimet sis ntuloille ulostuloille sek sarjakytkenn lle jotka on kytkett v ulkoisiin j rjestelmiin siten ettei mihink n j...

Page 156: ...ttaa henkil iden loukkaantumisia HUOMIO V lt kolhuja heiluntaa tai kkiliikkeit turbopumpun toiminnan aikana sill laakerit voivat vahingoittua K yt pumpun ilmansy tt n ilmaa tai jalokaasua joissa ei ol...

Page 157: ...pahtuu Soft Start menetelm ll joka inaktivoituu automaattisesti k ynnistysjakson j lkeen Siten pumpun seuraavat k ynnistykset tapahtuvat ilman Soft Start toimintoa Jotta k ynnistys voitaisiin suoritta...

Page 158: ...lisesti hyv ksytty tyyppi ja 3 lla johtimella varustettua s hk kaapelia k ytt m ll katso tilattavien osien taulukkoa K yt t t kaapelia ja pistoketta yhdess oikein maadoitetun pistorasian kanssa jotta...

Page 159: ...al mm n laskea alle 50 C en Laitteen vahingoittuessa on mahdollista k ytt Agilentin korjauspalvelua tai Agilent advanced exchange service vaihtopalvelua jonka kautta saatte uudistetun pumpun vahingoit...

Page 160: ...in j senmaita tarkoittaa ett tuotetta EI saa h vitt tavallisen kotitalous tai teollisuusj tteen mukana vaan se on toimitettava erilliseen ker yspisteeseen Loppuk ytt j kehotetaan sen vuoksi ottamaan k...

Page 161: ...molekul ris szivatty khoz 162 ltal nos Inform ci 163 T rol s 165 El k sz t s telep t sre 167 A szivatty r gz t se 168 Haszn lat 170 A Turbo V 1K G bekapcsol sa s haszn lata 171 A Turbo V 1K G kikapcs...

Page 162: ...g pk nyvben le van rva nagy mozg si energi val rendelkeznek a nagy forg si sebess g k s a rotorok fajlagos t mege miatt A rendszer hib s m k d se p ld ul a rotor ll r sz rintkez si hib ja vagy ak r a...

Page 163: ...v l nagy v kuumalkalmaz sokhoz A szivatty b rmely t pus g zt vagy g zkever ket k pes szivatty zni Nem alkalmas folyad kok vagy szil rd r szecsk k szivatty z s ra A szivatty z si m veletet egy nagytel...

Page 164: ...n elj r sra vagy specifikus tev kenys gre h vj k fel a kezel figyelm t melyek ha nem megfelel m don ker lnek v grehajt sra s lyos szem lyi s r l seket okozhatnak FIGYELEM A figyelmeztet zenetek azon e...

Page 165: ...param tereket nem szabad t ll pni h m rs klettartom ny 20 C 70 C relat v p ratartalom 0 95 nem kondenz l A turbomolekul ris szivatty kat mindig l gyan kell ind tani amikor a felhaszn l tveszi s el sz...

Page 166: ...e ki b rmilyen hirtelen t snek vagy r zk d snak Ne rtalmatlan tsa a csomagol anyagokat nem megengedett m don Az anyag teljesen jrafeldolgozhat s megfelel az EEC 85 399 es direkt v nak FIGYELEM G zkivo...

Page 167: ...biztos tani maxim lis nyom s 2 bar a l gk ri nyom s felett h m rs klet 5 C t l 35 C ig l sd a nyom s h m rs klet diagramot a Technical Information f ggel kben relat v p ratartalom 0 95 nem kondenz l F...

Page 168: ...l vagy a rendszerb l ami komoly s r l st vagy hal lt s vagy k rnyezet k rosod st okozhat R gz tse a Turbo V 1K Got stabil helyen a turb szivatty bemeneti karim j t a rendszer ellenkarim j ra szerelve...

Page 169: ...zik az EN 61010 1 direkt va szerint Csatlakoztassa az eszk zt a fenti kateg ri nak megfelel h l zathoz A Turbo V 1K Gnak olyan bemeneti kimeneti s soros kommunik ci s csatlakoz sai vannak amelyeket gy...

Page 170: ...klet g st okozhat FIGYELEM Ker lje a szivatty t s t r z s t vagy durva mozgat s t zem k zben A csap gyak megs r lhetnek Haszn ljon port l s szil rd r szekt l mentes leveg t vagy k z mb s g zt a szivat...

Page 171: ...a a szivatty t Az els szivatty ind t s l gy ind t s m dban t rt nik Amikor az ind t si ciklus befejez dik a l gy ind t s m d automatikusan tiltva van s a k vetkez ind t sok l gy ind t s m d n lk l t r...

Page 172: ...n nemzetk zi szabv ny szerinti csatlakoz dug val van ell tva Ezt a k belt s csatlakoz dug t megfelel en f ldelt csatlakoz aljazattal haszn lja hogy elker lje az ram t s vesz ly t s eleget tegyen az EU...

Page 173: ...org sa le ll s am g a szivatty fel let nek h m rs klete 50 C al esik Meghib sod s eset n l pjen kapcsolatba a helyi Agilent szervizk zponttal ahol tudnak adni egy helyre ll tott rendszert a hib s hely...

Page 174: ...en megtal lhat NEM ker lhet k z ns ges h ztart si vagy ipari hullad kkal egy tt megsemmis t sre hanem azt egy szelekt v hullad kgy jt rendszerbe kell tov bb tani A v gfelhaszn l nak a gy jt si s megse...

Page 175: ...lekularnych 176 Og lne Informacje 177 Magazynowanie 179 Przygotowanie do instalacji 180 Instalacja 181 Mocowanie pompy 182 U ytkowanie 184 W czenie i U ytkowanie pompy Turbo V 1K G 185 Zatrzymanie pom...

Page 176: ...ugi posiadaj du energi kinetyczn wynikaj c z du ej pr dko ci obrotowej w po czeniu z mas w a ciw ich wirnik w W przypadku uszkodzenia systemu na przyk ad z powodu kontaktu wirnika ze stojanem lub z po...

Page 177: ...e nie jest przystosowana do pompowania p yn w lub sta ych cz stek Zjawisko pompowania jest uzyskane poprzez obrotow turbin o wysokiej pr dko ci max 45660 obr min nap dzan przez elektryczny silnik tr j...

Page 178: ...grozeniu powinny zwrocic uwage operatora na odpowiednia specyficzna procedure ktora jezeli nie jest przestrzegana w sposob prawidlowy moze przyczynic sie do powaznych obrazen osoby obslugujacej UWAGA...

Page 179: ...by przekroczone nast puj ce warunki rodowiskowe temperatura od 20 C do 70 C wzgl dna wilgo od 0 do 95 bez opar klient po otrzymaniu i przygotowaniu po raz pierwszy pomp turbomolekularnych musi je zaws...

Page 180: ...V 1K G ani nie poddawa jej uderzeniom lub wibracjom Nie porzuca opakowania w rodowisku Materia ten nadaje si ca kowicie do recyklingu zgodny jest z dyrektyw UE 855 399 dotycz cej ochrony rodowiska UWA...

Page 181: ...nia maksymalne ci nienie 2 bary ponad ci nieniem atmosferycznym temperatura od 5 C do 35 C patrz wykres graficzny w dodatku Technical Information wzgl dna wilgo 0 95 bez opar UWAGA Usun ta m klej c i...

Page 182: ...spowodowa powa ne uszkodzenia lub mier os b jak i uszkodzi aparatur znajduj c si w pobli u systemu Zamocowa pomp Turbo V 1K G w pozycji stabilnej montuj c ko nierz wej cia turbopompy do ko nierza syst...

Page 183: ...zasilania kt ra spe ni te wymogi Pompa Turbo V 1K G posiada konektory wej ciowe wyj ciowe i dla komunikacji szeregowej kt re musz by pod czone do obwod w zewn trznych w spos b aby adna cz znajduj ca s...

Page 184: ...i ty z ko nierzem zamkni cia Nie dotyka turbopompy i jej ewentualnych akcesori w podczas operacji nagrzewania Wysoka temperatura mo e spowodowa uszkodzenia cia a na osobach UWAGA Unika uderze waha lub...

Page 185: ...zasilania Wbudowany sterownik rozpoznaje automatycznie obecno sygna w interlock u i uruchomienia i uruchamia pomp Pierwsze uruchomienie pompy odbywa si w spos b Soft Start kt ry na zako czenie cyklu u...

Page 186: ...ewodach zobacz tabel cz ci daj cych si zam wi i zamontowan wtyczk zgodna z mi dzynarodowymi normami Kabel ten pod czy wraz z wtyczk do kontaktu uziemionego celem unikni cia pora e pr dem elektrycznym...

Page 187: ...osi a poni ej 50 C W przypadku usterki mo liwe jest skorzystanie z serwisu naprawczego Agilent lub Agilent advanced exchange service kt ry pozwoli na uzyskanie zregenerowanego systemu w zast pstwie us...

Page 188: ...nacza ze wyrob ktory nim zostal oznaczony NIE moze byc przetworzony jako odpad razem z innymi domowymi lub przemyslowymi natomiast musi byc skladowany w miejscu przeznaczonym dla odpadow do przerobki...

Page 189: ...vod pro Turbomolekul rn v v vy 190 V eobecn Informace 191 Uskladn n 193 P prava k instalaci 194 Instalace 195 Mont v v vy 196 Pou it 198 Zapnut a pou v n v v vy Turbo V 1K G 199 Zastaven Turbo V 1K G...

Page 190: ...jak jsou popisov ny v n sleduj c m n vodu obsahuj velk mno stv kinetick energie d ky vysok ot iv rychlosti v kombinaci s konkr tn m objemem jejich rotor V p pad syst mov nefuk nosti nap kontaktu rotor...

Page 191: ...vysok m a velmi vysok m vakuem V v va m e od erp vat libovoln plyn nebo plynnou sm s ale nen vhodn na erp n tekutin nebo pevn ch stic erp n zaji uje velmi rychl turb na max 45660 ot min poh n n vysoc...

Page 192: ...kazy kter upozor uj na nebezpe a donut oper tora aby se dil dle procedury nebo specifick praktiky kter nebude li dn vykon na m e ohrozit v n m zp sobem jeho zdrav POZOR Tyto zpr vy b vaj vizualizov ny...

Page 193: ...n v v v byste nem li p ekra ovat n sleduj c technick podm nky prost ed Teplotn rozp t 20 C a 70 C Rozp t vlhkosti 0 a 95 bez sr en turbomolekul rn v v vy mus u ivatel po dod vce a poprv v dycky spou...

Page 194: ...raz m ot es m ani vibrac m Balic materi l nelikvidujte nedovolen m zp sobem Tento materi l lze 100 recyklovat a spl uje po adavky sm rnice EEC 85 399 POZOR Aby se zamezilo probl m m s odply ov n m nep...

Page 195: ...c podm nky dan prost ed m maxim ln tlak 2 bary nad atmosf rick m tlakem teplota od 5 C do 35 C viz diagram tlak teplota v p loze Technical Information relativn vlhkost 0 95 bez sr en POZOR P ed p ipo...

Page 196: ...hly vylet t kovov lomky kter by mohly zp sobit v n raz nebo smrt a tak po kodit okoln za zen Upevn te Turbo V 1K G do stabiln polohy a p vodn p rubu turbomolekul rn v v vy p ipevn te k protip rub syst...

Page 197: ...instala n nebo p ep ov t dy Za zen p ipojte do nap jec s t kter spl uje uvedenou t du V v va Turbo V 1K G je vybavena vstupn mi a v stupn mi konektory a konektory pro s riovou komunikaci kter se mus p...

Page 198: ...e zp sobit pop leniny POZOR B hem chodu chra te v v vu p ed n razy vibracemi a prudk mi pohyby Mohly by se po kodit lo iska Pro odplyn n v v vy pou vejte vzduch nebo inertn plyn kter je zbaven prachu...

Page 199: ...rovozu Prvn spu t n v v vy je v re imu pozvoln ho rozb hu Jakmile bude rozb hov cyklus dokon en re im pozvoln ho rozb hu se automaticky vypne a dal starty ji budou prob hat bez pozvoln ho rozb hu Chce...

Page 200: ...v m p vodn m kabelem viz tabulka d l kter lze doobjednat se z str kou mezin rodn schv lenou Pou vejte tento kabel se z str kou a pat i n uzemn nou z suvku abyste p ede li razu elektrick m proudem a ab...

Page 201: ...te dokud povrchov teplota v v vy neklesne pod 50 C V p pad poruchy kontaktujte m stn servisn st edisko firmy Agilent kter m e dodat n hradn repasovan za zen v m nou za porouchan POZN MKA P ed odesl n...

Page 202: ...ov n spole n s ostatn mi dom c mi nebo pr myslov mi odpady ale je nutno ho p edat do pat i n ch provozn ch sb ren kde mus b t t d n a likvidov n odd len od m stsk ho odpadu U ivateli kter m n v robek...

Page 203: ...bomolekul rne v vevy 204 V eobecn Inform cie 205 Uchov vanie 207 Pr prava na in tal ciu208 In tal cia 209 Upevnenie v vevy 210 Pou itie 212 Zapnutie a pou itie zariadenia Turbo V 1K G 213 Zastavenie T...

Page 204: ...vevy ak s n sledovne popisovan obsahuj ve k mno stvo kinetickej energie v aka vysokej ot avej r chlosti v kombin cii s konkretn m objemom ich rotorov V pr pade syst movej poruchy napr pri kontaktu ro...

Page 205: ...cie s vysok m a ve mi vysok m v kuom V veva dok e vy erpa ubovo n typ plynu alebo zmesi plynov Nie je v ak vhodn na vy erp vanie tekut n alebo pevn ch ast Vy erp vanie zabezpe uje ve mi r chla turb n...

Page 206: ...ZPE Odkazy ktor upozor uj na nebezpe ie don tia pracovn ka aby zachov val spr vny postup a pecifik cie ktor v pr pade e nebud spr vne vykonan m u v ne ohrozi jeho zdravie POZOR Sign ly pozoru s zobraz...

Page 207: ...dia po as prevozu pren ania a uchov vania v vev rozsah tepl t 20 C a 70 C rozsah relat vnej vlhkosti 0 a 95 bez kondenz cie z kazn k mus pri prvom spusten turbo v vevy v dy pou i re im soft tartu skla...

Page 208: ...a a nevystavujte ju n hlym n razom otrasom alebo vibr ci m Obalov materi l zlikvidujte predp san m sp sobom Materi l je 100 recyklovate n a sp a po iadavky smernice EEC 85 399 POZOR Ak chcete pred s p...

Page 209: ...vlastnosti prostredia maxim lny pretlak 2 bary nad rov ou atmosf rick ho tlaku teplota od 5 C do 35 C pozri z vislos tlaku od teploty v dodatku Technical Information relat vna vlhkos 0 95 bez kondenz...

Page 210: ...v ne zranenie alebo smr a alebo po kodi al ie zariadenia Upevnite Turbo V 1K G do stabilnej polohy tak e pripevn te vstupn pr rubu turbov vevy k pr rube syst mu Pripojenie mus by schopn vydr a to iv m...

Page 211: ...g rie pod a smernice EN 61010 1 Zariadenie je potrebn pripoji ku zdroju nap jania ktor vyhovuje uvedenej kateg rii V v va Turbo V 1K G m konektory pre vstup v stup a konektory s riovej komunik cie kto...

Page 212: ...sp sobi pop leniny POZOR Dbajte na to aby v veva po as innosti nebola vystaven n razom kmitaniu alebo prudk m pohybom Mohli by sa po kodi lo isk V vevu preplachujte pomocou vzduchu alebo inertn ho ply...

Page 213: ...y prebehne v re ime Soft Start Jemn tart Po dokon en sp acieho cyklu sa re im Soft Start automaticky zablokuje a v etky nasleduj ce spustenia zariadenia prebehn bez re imu Soft Start Ak chcete re im S...

Page 214: ...lovej n ry vi tabu ku dielov ktor mo no objedna so z str kou medzin rodne schv lenou T to n ru so z str kou pou vajte spolu s vhodne uzemnenou z suvkou aby nedo lo k z sahu elektrick m pr dom a aby bo...

Page 215: ...m sa rotor neprestane ot a a k m teplota povrchu v vevy neklesne pod 50 C V pr pade poruchy zariadenia vyh adajte kontaktn stredisko spolo nosti Agilent kde v m pokazen syst m vymenia POZN MKA Sk r n...

Page 216: ...ty Eur pskej nie znamen e v robok s t mto t tkom NESMIE by odstr nen spolu s be n m dom cim alebo priemyseln m odpadom ale sa mus odstr ni ako delen odpad Vyz vame preto kone n ho u vate a aby sa skon...

Page 217: ...molekularne rpalke218 Splo ne Informacije 219 Shranjevanje 221 Priprava za monta o 222 Monta a 223 Pritrjevanje rpalke 224 Uporaba 226 Vklop in uporaba naprave Turbo V 1K G 227 Izklop naprave Turbo V...

Page 218: ...jih navodilih vsebujejo veliko koli ino kineti ne energije zaradi visoke hitrosti v povezavi s specifi nimi masami rotorjev V primeru nepravilnega delovanja sistema na primer pri dotiku rotorja stator...

Page 219: ...rabo rpalka lahko rpa vse tipe plinov ali plinskih zmesi vendar ni primerna za rpanje teko in ali trdnih delcev rpanje se izvaja preko vrtljive turbine z visoko hitrostjo maks 45660 rpm ki jo premika...

Page 220: ...otokolu SVARILO Znak svarila opozarja uporabnika da mora pri dolo enem postopku ali pri posebnem delovanju paziti Kr itev svarila lahko privede do la jih ali hudih telesnih po kodb POZOR Znak pozor se...

Page 221: ...ne smete prese i naslednjih specifikacij temperaturno obmo je 20 C do 70 C obmo je relativne vla nosti 0 do 95 brez kondenza Turbomolekularne rpalke mora uporabnik pri prvi uporabo vedno zagnati mehk...

Page 222: ...ostavljen tresljajem ali udarcem Ne odlagajte embala e v okolje Material je mo no v celoti reciklirati in je v skladu z okoljevarstveno direktivo ECC 85 399 POZOR Komponent ki bodo izpostavljene vakuu...

Page 223: ...je ambientne pogoje Maksimalen pritisk 2 bara nad pritiskom atmosfere Temperatura od 5 C do 35 C glej diagram pritisk temperatura v prilogi Technical Information Relativna vla nost 0 95 brez kondenza...

Page 224: ...sistema in povzro ijo resne po kodbe ali smrt in ali po kodujejo bli njo opremo Namestite Turbo V 1K G v stabilen polo aj tako da montirate dovodno prirobnico turbo rpalke na prirobnico na sistemu ta...

Page 225: ...orijo za name anje ali prekovolta o Napravo priklju ite na napetost ki je v skladu z zgornjo kategorijo Naprava Turbo V 1K G ima vhodne izhodne in serijske priklju ke ki jih je treba povezati na zunan...

Page 226: ...lahko povzro i opekline POZOR Izogibajte se udarcem nihanju ali nenadnim premikom turbo rpalke med njenim delovanjem Le aji bi se lahko po kodovali Za prezra evanje rpalke uporabite zrak ali inertni p...

Page 227: ...in Soft Start samodejno izklopi in naslednji zagoni so izvedeni brez na ina Soft Start Za ponovno aktiviranje Soft Start zagona je potreben ustrezen programski ukaz glej odstavek RS 232 RS 485 COMMUNI...

Page 228: ...pajalnega kabla glej tabelo delov ki se lahko naro ijo z vtika em potrjen na mednarodnem nivoju Uporabite ta kabel in vtika skupaj s primerno ozemljeno vti nico da se izognete elektri nemu stresljaju...

Page 229: ...ustavi in da povr inska temperatura rpalke pade pod 50 C V primeru okvare kontaktirajte lokalni Agilent servisni center ki vam lahko zamenja pokvarjen sistem z novim OPOMBA Preden odnesete sistem na...

Page 230: ...nosti pomeni da izdelek NE SMETE ODSTRANITI skupaj z ostalimi komunalnimi ali industrijskimi odpadki temve ga morate odstraniti po sistemu za lo evanje odpadkov Zato pozivamo uporabnike da se v prodaj...

Page 231: ...line for Turbomolecular Pumps 232 General Information 233 Storage 235 Preparation for installation 236 Installation 237 Pump Fixing 238 Use 240 Switching on and Use of Turbo V 1K G 241 Turbo V 1K G Sw...

Page 232: ...contain a large amount of kinetic energy due to the high rotational speed in combination with the specific mass of their rotors In case of a malfunction of the system for example rotor stator contact...

Page 233: ...ra high vacuum applications It can pump any type of gas or gas compound It is not suitable for pumping liquids or solid particles The pumping action is obtained through a high speed turbine max 45660...

Page 234: ...he warning messages are for attracting the attention of the operator to a particular procedure or practice which if not followed correctly could lead to serious injury CAUTION The caution messages are...

Page 235: ...l specifications should not be exceeded temperature range 20 C to 70 C relative humidity range 0 to 95 non condensing the turbomolecular pumps must be always soft started when received and operated fo...

Page 236: ...kind of sudden impact or shock vibration to it Do not dispose of the packing materials in an unauthorized manner The material is 100 recyclable and complies with EEC Directive 85 399 CAUTION In order...

Page 237: ...respected maximum pressure 2 bar above atmospheric pressure temperature from 5 C to 35 C see the diagram pressure temperature in the appendix Technical Information relative humidity 0 95 non condensi...

Page 238: ...ump or system which could cause serious injury or death and or damage to surrounding equipment Fix the Turbo V 1K G in a stable position mounting the inlet flange of the turbopump to the system counte...

Page 239: ...t the device to a mains line that satisfies the above category The Turbo V 1K G has Input Output and serial communication connectors that must be connected to external circuits in such a way that no e...

Page 240: ...rocess The high temperatures may cause burns CAUTION Avoid impacts oscillations or harsh movements of the pump when in operation The bearings may become damaged Use air or inert gas free from dust or...

Page 241: ...p start up is in Soft Start mode When the start up cycle is finished the Soft Start mode automatically is disabled and the following start ups are without the Soft Start mode To re enable the Soft Sta...

Page 242: ...d see orderable parts table and plug internationally approved for user s safety Use this power cord and plug in conjunction with a properly grounded power socket to avoid electrical shock and to satis...

Page 243: ...ait until the surface temperature of the pump falls below 50 C In the case of breakdown contact your local Agilent service center who can supply a reconditioned system to replace that broken down NOTE...

Page 244: ...ean Community indicates that the product it applies to must NOT be disposed of together with ordinary domestic or industrial waste but must be sent to a differentiated waste collection system The end...

Page 245: ...ions controller model 9698978M005 255 P3 Vent 256 P4 External fan 256 J1 In Out257 J2 Serial 266 RS 232 RS 485 Communication Description 268 Communication Format 268 Communication Protocol 268 Window...

Page 246: ...l 9699831 287 Purge Valve Installation 289 Serial Cable Installation for 9698978M005 Navigator controller only 291 Turbo V 1K G Navigator Controller Installation 292 Bottom mounting 292 Fore Vacuum Pu...

Page 247: ...ned discs with pumping channels and an opening restricted by the corresponding rotor discs These are made of aluminium alloy During normal operation the motor is fed with a voltage of 56 Vrms three ph...

Page 248: ...to prevent the pump from overheating The pump is balanced after assembly with a residual vibration amplitude less than 0 01 m The pump can operate in any position and can be supported on the high vacu...

Page 249: ...r and is composed of two PCBs which include power supply and 3 phase output analog and input output section microprocessor and digital section The power supply together with the 3 phase output convert...

Page 250: ...428 the base pressure is that measured in a leak free test dome 48 hours after the completion of test dome bake out with a Turbopump fitted with a ConFlat flange and using the recommended pre vacuum...

Page 251: ...to 35 W 400 W using Nitrogen or lighter gases WATER cooling setting 260 W using ARGON AIR cooling setting Protection fuse Navigator Controller 1 x 6 3 A Compliance with UNI EN 292 1 UNI EN 292 2 EN 5...

Page 252: ...o V 1K G User Manual 87 901 025 01 A Table 2 Technical Specification ISO 200 flange 26 7 58 9 Navigator Controller 5 4 12 NOTE When the Turbo V 1K G has been stored at a temperature less than 5 C wait...

Page 253: ...Technical Information Turbo V 1K G Outline 17 Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 A 253 304 Turbo V 1K G Outline The following figures show the Turbo V 1K G outlines dimensions are in inches mm...

Page 254: ...V 1K G Outline 254 304 Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 A Figure 3 Pumping speed diagram for 8698962R001 ISO 200F flange turbopump model with a 36 m3 h foreline pump Figure 4 Graph of compressi...

Page 255: ...005 17 Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 A 255 304 Interconnections controller model 9698978M005 The following figure shows the Turbo V 1K G interconnections with Navigator controller 9698978M005...

Page 256: ...ntroller model 9698978M005 256 304 Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 A P3 Vent This is a dedicated 24 Vdc connector to control the optional vent valve P4 External fan This is a dedicated 24 Vdc c...

Page 257: ...ser Manual 87 901 025 01 A 257 304 J1 In Out This connector carries all the input and output signals to remote control the Turbo V 1K G It is a 15 pins D type connector the available signals are detai...

Page 258: ...le 3 Pin N Signal Name Input Output 1 START STOP IN 2 START STOP IN 3 INTERLOCK IN 4 INTERLOCK IN 5 SPEED SETTING IN 6 SPEED SETTING IN 7 SOFT START IN 8 SOFT START IN 9 24 Vdc OUT 10 SPARE 11 PROGRAM...

Page 259: ...the pump automatically starts as soon as the controller recognises the input supply Plug Pump INTERLOCK input signal to control the pump rotation With the supplied cover connector the INTERLOCK signal...

Page 260: ...pen collector output signal is ON when a system fault condition is detected PROGRAMMABLE SET POINT this open collector output signal is enabled when the reference quantity chosen frequency current or...

Page 261: ...quency becomes higher than 505 Hz that is 500 Hz 1 of 500 Hz then the output goes at 24 Vdc and stays at 24 Vdc until the frequency becomes lower than 495 Hz that is 500 Hz 1 of 500 Hz It is possible...

Page 262: ...hnical Information Interconnections controller model 9698978M005 262 304 Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 A NOTE The Navigator Software optional allows the operator to set all the programmable f...

Page 263: ...INTERLOCK inputs with the GROUND input see the following figure How to connect the open collector inputs of the controller Here below there are the typical connections of the open collector input of...

Page 264: ...17 Technical Information Interconnections controller model 9698978M005 264 304 Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 A Figure 13 Case 1 Figure 14 Case 2 with relay utilization...

Page 265: ...th transistor utilisation How to connect the outputs of the controller The following figure shows a typical logic output connection relay coil but any other device may be connected e g a LED a compute...

Page 266: ...n Interconnections controller model 9698978M005 266 304 Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 A J2 Serial This is a 9 pin D type serial input output connector to control via an RS 232 or RS 485 conne...

Page 267: ...25 01 A 267 304 Table 4 Pin N Signal Name 1 SPARE 2 TX RS232 3 RX RS232 4 SPARE 5 GND 6 A RS485 7 SPARE 8 B RS485 9 RESERVED Note that the vent valve can also be controlled by means of the serial conn...

Page 268: ...necessary to select the type of communication as well as the device address by means of the Navigator software Communication Format 8 data bit no parity 1 stop bit baud rate 600 1200 2400 4800 9600 p...

Page 269: ...meaning of each window see the relevant paragraph COM Command 0x30 to read the window 0x31 to write into the window DATA an alphanumeric ASCII string with the data to be written into the window In ca...

Page 270: ...wing response types The controller can reply with the following types of response Table 6 Type Length Value Description Logic After a read instruction of a logic window Numeric 6 bytes After a read in...

Page 271: ...mmunication Description 17 Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 A 271 304 Table 6 Win Disabled 1 byte 0x35 The window specified is Read Only or is temporarily disabled for example you can t write th...

Page 272: ...3 STX ADDR WINDOW WR ON ETX CRC Source Controller Destination PC 02 80 06 03 38 35 STX ADDR ACK ETX CRC Command STOP Source PC Destination Controller 02 80 30 30 30 31 30 03 42 32 STX ADDR WINDOW WR O...

Page 273: ...al 87 901 025 01 A 273 304 Source Controller Destination PC 02 80 06 03 38 35 STX ADDR ACK ETX CRC Command SOFT START OFF Source PC Destination Controller 02 80 31 30 30 31 30 03 42 33 STX ADDR WINDOW...

Page 274: ...t write only in Stop condition YES 1 NO 0 101 R W N Set Point type 0 Frequency 1 Current 2 Time default 0 102 R W N Set Point threshold expressed in Hz mA or s default 582 103 R W N Set Point delay ti...

Page 275: ...to frequency or power 0 frequency 1 power default 0 120 R W N Rotational frequency setting Hz 500 to 761 default 761 121 R W N Maximum rotational frequency in Hz active only in Stop condition 500 to 7...

Page 276: ...aiting intlk 1 Starting 2 Auto tuning 3 Braking 4 Normal 5 Fail 6 206 R N Error code Bit description see the following figure 300 R N Cycle time in minutes zeroed by the reset command 0 to 999999 301...

Page 277: ...efault 0 NOTE Automatic means that when the controller stops the vent valve is opened with a delay defined by window n 126 when the controller starts the vent valve is immediately closed On command me...

Page 278: ...let Screen Installation The inlet screens mod 9699304 and 9699316 prevent the blades of the pump from being damaged by debris greater than 0 7 mm diameter The inlet screen however does reduce the pump...

Page 279: ...V 1K G User Manual 87 901 025 01 A 279 304 The screen can be mounted on each pump The screen can be removed as shown in the following figure The following figure shows the overall flange dimensions w...

Page 280: ...17 Technical Information Inlet Screen Installation 280 304 Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 A ISO 160F DIMENSIONS mm inches DIMENSIONS mm inches ISO 200F...

Page 281: ...01 A 281 304 Water Cooling Kit Installation Two types of water cooling kits are available to be mounted The Turbo V 1K G must be always water cooled The two models part numbers are 9699825 and 9699826...

Page 282: ...d into the suitable holes of the pump body with a recommended closing torque of 5 Nm Two 6 mm 1 4 internal diameter rubber or plastic hoses from the water supply must be fitted to the two nozzles NOTE...

Page 283: ...h eventual discharge of the water or using a closed circuit cooling system The water temperature must be between 10 C and 20 C with an inlet pressure between 3 and 5 bar This allows a flow of about 20...

Page 284: ...he pump during temporary power failure and enables an automatic vent operation Navigator Controller Compatible Vent Valve model 9699834 This vent valve waits before opening a minimum time of about 5 s...

Page 285: ...echnical Information Vent Accessories 17 Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 A 285 304 Then screw the vent valve into the pump and tighten it using a 16 mm hexagonal spanner with a torque of 2 5 Nm...

Page 286: ...the cable from the valve to the suitable connector on the controller see the preceding paragraph INTERCONNECTIONS Standard Rack Controller Compatible Vent Valve model 9699843 This vent valve has a fix...

Page 287: ...K G User Manual 87 901 025 01 A 287 304 Vent Device model 9699831 The vent device has adjustable delay time up to 36 min This value can be used only with rack controller To install the vent device uns...

Page 288: ...ent Accessories 288 304 Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 A Screw the flange mod 9699108 on the pump taking care of the o ring right position Assemble the seal ring and lock the vent device in po...

Page 289: ...purge valve is available to protect the pump bearings against particulate and corrosive gases that could move into the pump To install the gas purge valve it is necessary to unscrew the purge port co...

Page 290: ...17 Technical Information Purge Valve Installation 290 304 Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 A...

Page 291: ...erial Cable Installation for 9698978M005 Navigator controller only The supplied serial cable must be installed when the Turbo V 1K G or the optional vent valve have to be controlled by means of a remo...

Page 292: ...m mounting See the following figure 1 Turn the pump upside down 2 Place the three washers on the pump bottom in correspondence of three hole at 120 3 Place the controller on the washers with the pump...

Page 293: ...o V 1K G pump to the fore vacuum pump A hose or vacuum approved pipe can be used If a rigid pipe is used any vibration generated by the mechanical pump must be eliminated through the use of bellows NO...

Page 294: ...e controller through an 8 pin connector Pins B C and D are the 3 phase supply to the motor pin E is connected to the pump ground pins G and H are not connected pins A and F reserved for Agilent If the...

Page 295: ...This value can be exceeded according to the process requirements Please contact Agilent for specific applications The purge gas throughput with the recommended forepump allows to achieve a high vacuum...

Page 296: ...ssure for a better bearing protection it is advisable to leave the purge gas flowing into the Turbo V pump with the chamber or the Turbo V vent valve opened to avoid system overpressures If the vent v...

Page 297: ...leave the rotor mainly by radiation and hence the rotor may be overheated while static parts of the pump remain cool This effect is strongly dependant from the intensity time function and distribution...

Page 298: ...d rack controller 9699843 Vent valve for standard rack controller 9699834 Vent valve for Navigator Controller 9699241 Purge valve KF16 M12 20 SCCM 9699242 Purge valve 7 16 M12 20 SCCM 9499335 Rotary V...

Page 299: ......

Page 300: ......

Page 301: ......

Page 302: ......

Page 303: ......

Page 304: ...Toll free 0800 728 1405 Singapore Agilent Technologies Singapore Pte Ltd 1 Yishun Avenue 7 Singapore 768923 Tel 65 6215 8045 Fax 65 6754 0574 Toll free 1 800 2762622 vps customerservice agilent com M...

Search results

Summary of Contents for 8698961R002

Reviews:

Agilent Technologies 8698961R002, User Manual, Page: 198 / 304

Search results

Summary of Contents for 8698961R002

Reviews: